Графитни части с покритие от танталов карбид

Графитните части с покритие от танталов карбид играят решаваща роля в процесите на производство на полупроводници, където прецизността, надеждността и устойчивостта на тежки условия са от първостепенно значение. Тези специално обработени компоненти, включително ецващи пръстени и тигели, са проектирани да издържат на предизвикателните среди, срещани при производството на полупроводници.

Графитни части с покритие от танталов карбид, като пръстени за гравиране, са критични компоненти, използвани в полупроводниковата индустрия за процеси като химическо отлагане на пари (CVD) и физическо отлагане на пари (PVD). Тези пръстени влизат в пряк контакт с реактивни газове и среда с висока температура по време на процеса на ецване.

Графитните части с покритие от танталов карбид са покрити с тънък слой танталов карбид. Това покритие осигурява изключителна устойчивост на износване и защита срещу корозивни химикали, осигурявайки дълготрайност и постоянна работа.

Покритието от танталов карбид подобрява твърдостта и химическата стабилност на ецващите пръстени, предотвратявайки разграждане и замърсяване. Той също така допринася за еднакви резултати от ецване и удължен експлоатационен живот.