Тигел с покритие от TaC

Представяме тигела с CVD Tac покритие, идеалното решение за производители на полупроводниково оборудване и потребители, които изискват най-високо ниво на качество и производителност. Нашите тигли са покрити с най-съвременен слой CVD Tac (танталов карбид), който осигурява превъзходна устойчивост на корозия и износване, което ги прави идеални за използване в различни полупроводникови приложения.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Изработени от висококачествени материали и покрити с най-модерната CVD Tac технология, нашите тигели предлагат изключителна производителност и дълготрайност. Покритието CVD Tac осигурява изключително равномерен, плътен слой, който е силно устойчив на химическа атака, абразия и термичен шок. Това гарантира, че нашите тигели запазват формата и размерите си дори след многократна употреба, намалявайки необходимостта от чести смени.

Нашите тигели с CVD Tac покритие също са силно съвместими с широка гама от полупроводникови процеси, включително химическо отлагане на пари (CVD), физическо отлагане на пари (PVD) и отлагане на атомен слой (ALD). Независимо дали произвеждате микрочипове, слънчеви клетки или други полупроводникови устройства, нашите тигели могат да ви помогнат да постигнете оптимални резултати.

Параметри на TaC покритие

проекти	Параметри
Плътност	14,3 (gm/cm³)
Коефициент на излъчване	0.3
CTE (×10^-6/K)	6.3
Твърдост (HK)	2000
Съпротивление (Ohm-cm)	1×10^-5
Термична стабилност	<2500 ℃
Промяна на графитния размер	-10~-20um (референтна стойност)
Дебелина на покритието	≥20um типична стойност (35um±10um)

Горните са типични стойности