Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon е специализиран компонент, проектиран за високопроизводителни епитаксиални процеси в производството на полупроводници. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Tantalum Carbide Coating Halfmoon Part е високо специализиран компонент, предназначен за използване в процеса на епитаксиално отлагане. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coating Half-moon е специализиран компонент, изработен от графит с покритие от танталов карбид (TaC), предназначен за използване в епитаксиални процеси. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеПатронник Semicorex TaC Coating Chuck, най-модерният вакуумен патронник, оборудван с TaC покрития, специално проектиран за полупроводникови пещи. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеМожете да бъдете сигурни, че ще закупите епитаксиална плоча с TaC покритие от нашата фабрика. Епитаксиалната плоча с покритие Semicorex TaC (танталов карбид) може да се похвали с изключителна устойчивост на топлина, което я прави идеална за приложения, подложени на високи температури. Неговата забележителна способност да издържа на топлина гарантира издръжливост и надеждност в взискателни среди. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coated Plate е специализиран диск, предназначен за използване в SiC епитаксиални процеси, изработен с прецизност от висококачествен графитен материал. Повърхността му е щателно покрита с танталов карбид (TaC), съединение, известно със своята изключителна чистота и здравина. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване