Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Semicorex Tantalum Carbide Coated Ring е ключов компонент, използван при обработката на полупроводници. Той е проектиран със специализирано покритие, което изпълнява множество функции за подобряване на ефективността и дълготрайността на графитните компоненти в полупроводниковите машини. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеГрафитните части с TaC покритие на Semicorex са прецизно изработени компоненти, които са специално проектирани да издържат на взискателната среда на обработка на полупроводници. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coating Graphite Cover представлява авангардно решение в сферата на топлинните приложения за растеж на кристали и епитаксиални (epi) процеси. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coating Ring стои като основен компонент в царството на монокристалния растеж в термичното поле. Изработен с прецизност и иновация, този специализиран водещ пръстен играе решаваща роля в сложния процес на производство на монокристален материал. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coated Wafer Susceptor е ключов компонент, използван в металоорганични пещи за химическо отлагане на пари (MOCVD) за епитаксиална (epi) обработка на полупроводници. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Tantalum Carbide Coated Plate е авангардно решение, предназначено да отговори на строгите изисквания на производството на полупроводници, особено в етапа на епитаксиална (epi) обработка. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване