Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Semicorex предоставя висококачествени графитни части с покритие от танталов карбид с персонализирано обслужване. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex предоставя графитен фиксатор с покритие от танталов карбид с персонализирано обслужване. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coated Porous graphite е усъвършенстван материал с висока чистота за обработка на полупроводници. Тази важна част от оборудването играе ключова роля в процеса на растеж на монокристален SiC. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител бихме искали да ви предоставим пръстени с покритие от TaC. Представяме Ви CVD Tac Coated Ring, най-съвременно решение за полупроводниково оборудване. Този авангарден продукт може да се похвали с усъвършенствано покритие с химическо отлагане на пари (CVD), което осигурява изключителна издръжливост и устойчивост на износване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеПредставяме тигела с CVD Tac покритие, идеалното решение за производители на полупроводниково оборудване и потребители, които изискват най-високо ниво на качество и производителност. Нашите тигли са покрити с най-съвременен слой CVD Tac (танталов карбид), който осигурява превъзходна устойчивост на корозия и износване, което ги прави идеални за използване в различни полупроводникови приложения.
Прочетете ощеИзпратете запитване