Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Водещ пръстен с покритие Semicorex TaC, върхът на иновациите в SiC (силициев карбид) пещи за растеж на единични кристали. Прецизно проектиран да отговори на взискателните изисквания на полупроводниковата индустрия, този направляващ пръстен обещава да предефинира вашите процеси на растеж на кристали с несравнима прецизност и надеждност.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex авангарден TaC Coated Graphite Susceptor, революционен компонент, предназначен да издигне вашия епитаксиален процес на пластини до нови висоти на ефективност и прецизност. Изработен с несравним експертен опит и използвайки най-съвременна технология, графитният ток с покритие Semicorex TaC е проектиран да отговаря на взискателните изисквания на производството на полупроводници.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex предоставя висококачествени графитни части с покритие от танталов карбид с персонализирано обслужване. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex предоставя графитен фиксатор с покритие от танталов карбид с персонализирано обслужване. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coated Porous graphite е усъвършенстван материал с висока чистота за обработка на полупроводници. Тази важна част от оборудването играе ключова роля в процеса на растеж на монокристален SiC. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител бихме искали да ви предоставим пръстени с покритие от TaC. Представяме Ви CVD Tac Coated Ring, най-съвременно решение за полупроводниково оборудване. Този авангарден продукт може да се похвали с усъвършенствано покритие с химическо отлагане на пари (CVD), което осигурява изключителна издръжливост и устойчивост на износване.
Прочетете ощеИзпратете запитване