Сусцептор с TaC покритие

Semicorex TaC Coated Susceptor, изработен от графитен основен материал, е покрит с танталов карбид (TaC), за да подобри неговата производителност и издръжливост.

Танталовият карбид предлага изключителна термична стабилност, което позволява на TaC Coated Susceptor да издържа на изключително високи температури, често срещани в процеси като химическо отлагане на пари (CVD) и физическо отлагане на пари (PVD). А TaC покритието осигурява превъзходна устойчивост на химични реакции, окисление и корозия, което е от решаващо значение за поддържане на целостта и производителността в тежки химически среди.

Еднаквите и стабилни термични свойства на TaC Coated Susceptor подобряват последователността и качеството на процесите, в които се използват, което води до по-добър добив и ефективност при производството на полупроводници.

Междувременно използването на TaC на TaC Coated Susceptor минимизира риска от замърсяване в полупроводникови процеси, което е критично за производството на електронни компоненти с висока чистота и без дефекти.

Приложения на TaC Coated Susceptor:

Производство на полупроводници: Използва се в CVD и PVD процеси за отлагане на тънки филми и епитаксиални слоеве върху полупроводникови пластини.

Производство на светодиоди: Използва се в производството на светодиоди (LED), където се изискват прецизни и стабилни топлинни условия.

Производство на слънчеви клетки: Използва се в производството на фотоволтаични клетки за подобряване на ефективността и надеждността.

Semicorex TaC Coated Susceptor е от решаващо значение в напредналите производствени процеси, където се изисква висока термична стабилност, химическа устойчивост и издръжливост. Тяхното приложение гарантира подобрена производителност, дълготрайност и качество на продуктите във високотехнологичните индустрии.