Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor е ключов компонент, използван в металоорганични пещи за химическо отлагане на пари (MOCVD) за епитаксиална (epi) обработка на полупроводници. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Tantalum Carbide Coated Plate е авангардно решение, предназначено да отговори на строгите изисквания на производството на полупроводници, особено в етапа на епитаксиална (epi) обработка. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеВодещ пръстен с покритие Semicorex TaC, върхът на иновациите в SiC (силициев карбид) пещи за растеж на единични кристали. Прецизно проектиран да отговори на взискателните изисквания на полупроводниковата индустрия, този направляващ пръстен обещава да предефинира вашите процеси на растеж на кристали с несравнима прецизност и надеждност.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex авангарден TaC Coated Graphite Susceptor, революционен компонент, предназначен да издигне вашия епитаксиален процес на пластини до нови висоти на ефективност и прецизност. Изработен с несравним експертен опит и използвайки най-съвременна технология, графитният ток с покритие Semicorex TaC е проектиран да отговаря на взискателните изисквания на производството на полупроводници.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex предоставя висококачествени графитни части с покритие от танталов карбид с персонализирано обслужване. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex предоставя графитен фиксатор с покритие от танталов карбид с персонализирано обслужване. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване