TaC покритие горен полумесец

Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon е специално проектиран компонент, пригоден за постигане на високоефективни епитаксиални процеси в сферата на производството на полупроводници. Частта TaC Coating Upper Halfmoon е проектирана да пасва безпроблемно в епитаксиални реактори, осигурявайки изключителна издръжливост и стабилност при екстремни условия.

TaC покритието предлага отлична устойчивост на високи температури, което прави TaC покритието Upper Halfmoon идеално за взискателните термични среди на епитаксиалните процеси. Това гарантира постоянна производителност и дълголетие, намалявайки честотата на подмяната и времето на престой. TaC покритието Upper Halfmoon може да издържи на корозивни газове и химикали, които обикновено се използват при епитаксиален растеж, защитавайки целостта на компонента и поддържайки чистотата на процеса.

Гладкото и равномерно покритие от TaC подобрява качеството на епитаксиалните слоеве чрез минимизиране на дефектите и примесите. Това допринася за по-високи нива на добив и превъзходни електронни свойства на полупроводниковите устройства. Комбинацията от термична и химическа устойчивост удължава експлоатационния живот на TaC Coating Upper Halfmoon, осигурявайки рентабилно решение за поддържане на висока производителност и ефективност при производството на полупроводници.

Приложения:

Процеси на високотемпературно химическо отлагане на пари (CVD).

Епитаксия със силициев карбид (SiC) и галиев нитрид (GaN).

Технически спецификации:

Материал: Покритие от танталов карбид (TaC).

Температурен диапазон: До 2200°C

Химическа устойчивост: Отлична срещу HF, HCl и други корозивни газове

Размери: Възможност за персонализиране, за да пасне на конкретни модели реактори

Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon е основен компонент за постигане на висококачествени епитаксиални слоеве с подобрена ефективност и намален риск от замърсяване. Неговите усъвършенствани свойства на материала и прецизното инженерство го правят ценен актив в полупроводниковата индустрия, подпомагайки производството на следващо поколение електронни устройства.