Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Semicorex Tantalum Carbide Halfmoon Part е ключов компонент, използван в процеса на епитаксия на полупроводници, критичен етап в производството на полупроводникови устройства. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC-Coating Crucible се очертава като основен инструмент в търсенето на висококачествени полупроводникови кристали, което позволява напредък в материалознанието и производителността на устройствата. Уникалната комбинация от свойства на TaC-Coating Crucible ги прави идеално подходящи за взискателните среди на процесите на растеж на кристали, предлагайки ясни предимства пред традиционните материали.**
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coated Tube представлява върхът на науката за материалите, проектиран да издържа на екстремни условия, срещани при усъвършенстваното производство на полупроводници. Създадена чрез нанасяне на плътен, равномерен слой от TaC върху изотропен графитен субстрат с висока чистота чрез химическо отлагане на пари (CVD), тръбата с покритие от TaC предлага завладяваща комбинация от свойства, които превъзхождат конвенционалните материали в взискателни високотемпературни и химически агресивни среди. **
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC покритие Halfmoon предлага убедителни предимства при епитаксиалния растеж на силициев карбид (SiC) за силова електроника и радиочестотни приложения. Тази комбинация от материали се справя с критичните предизвикателства в SiC епитаксия, позволявайки по-високо качество на пластините, подобрена ефективност на процеса и намалени производствени разходи. Ние от Semicorex сме посветени на производството и доставката на високопроизводителни Halfmoon с покритие от TaC, което съчетава качество с рентабилност.**
Прочетете ощеИзпратете запитванеУплътнителен пръстен с покритие от Semicorex TaC, приложен към уплътнителните компоненти, осигурява изключителни предимства в производителността в взискателните среди на производството на полупроводници. TaC покритието се справя с критични предизвикателства, свързани с химическа устойчивост, екстремни температури и механично износване, позволявайки по-високи добиви на процеса, увеличено време за работа на оборудването и в крайна сметка по-ниски производствени разходи. Ние от Semicorex сме посветени на производството и доставката на високопроизводителни уплътнителни пръстени с покритие от TaC, които съчетават качество с рентабилност.**
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor е критичен компонент, играещ основна роля в процесите на отлагане, които са от съществено значение за създаването на полупроводникови пластини. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитване