Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Направляващият пръстен за покритие Semicorex TaC служи като основна част в оборудването за металоорганично химическо отлагане на пари (MOCVD), осигурявайки прецизно и стабилно доставяне на прекурсорни газове по време на процеса на епитаксиален растеж. Водещият пръстен от TaC покритие представлява серия от свойства, които го правят идеален за издържане на екстремните условия, намиращи се в камерата на MOCVD реактора.**
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coating Wafer Chuck е върхът на иновациите в процеса на епитаксия на полупроводници, критична фаза в производството на полупроводници. С нашия ангажимент да доставяме продукти с най-високо качество на конкурентни цени, ние сме готови да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex MOCVD Susceptor с TaC покритие е авангарден компонент, щателно изработен за оптимална производителност в процесите на епитаксия на полупроводници в MOCVD системите. Semicorex е непоколебима в нашия ангажимент да доставяме превъзходни продукти на изключително конкурентни цени. Ние сме нетърпеливи да установим трайно партньорство с вас в Китай.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеПръстенът с покритие Semicorex CVD TaC царува като критичен компонент в обработката на полупроводници, символизирайки зенита на съвременното инженерство на материали. Създаден за прилагане в най-строгите среди, където прецизността и надеждността са на първо място, този пръстен олицетворява сливането на авангардни техники за нанасяне на покритие с науката за устойчивите материали. Semicorex упорито доставя продукти от първо ниво на конкурентни цени и ние с нетърпение очакваме да изградим дългогодишно партньорство с вас в Китай.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеPlanetary Susceptor с покритие Semicorex TaC е високоспециализиран компонент, предназначен за използване в епитаксиалните процеси при производството на полупроводници. Semicorex е посветен на предоставянето на продукти с най-високо качество на конкурентни цени. Ние сме нетърпеливи да установим дългосрочно партньорство с вас в Китай.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Tantalum Carbide Coating Guide Ring е усъвършенстван компонент, специално проектиран за полупроводниковата индустрия, играещ решаваща роля в растежа на кристалите от силициев карбид (SiC). Този продукт е проектиран да отговаря на строгите изисквания на среда с висока температура и висок стрес, присъщи на процесите на растеж на полупроводникови кристали. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитване