Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Графитният патронник Semicorex TaC с покритие е високоефективен компонент, предназначен за прецизно боравене с пластини и високотемпературни процеси в производството на полупроводници. Изберете Semicorex за неговите иновативни, издръжливи продукти, които осигуряват оптимална производителност и дълготрайност при взискателни полупроводникови приложения.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеПръстенът Semicorex TaC е високоефективен компонент, предназначен за растеж на монокристал SiC, осигуряващ оптимално разпределение на газовия поток и контрол на температурата. Изберете Semicorex за нашия опит в съвременните материали и прецизното инженерство, осигурявайки трайни и надеждни решения, които подобряват ефективността и качеството на вашите полупроводникови процеси.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Tantalum Carbide Part е графитен компонент с TaC покритие, предназначен за високопроизводителна употреба в приложения за растеж на кристали от силициев карбид (SiC), предлагащ отлична температурна и химическа устойчивост. Изберете Semicorex за надеждни, висококачествени компоненти, които подобряват качеството на кристалите и производствената ефективност при производството на полупроводници.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеПръстените от танталов карбид Semicorex са критични компоненти, използвани в модерните процеси за производство на полупроводници. Известни със своята изключителна твърдост, висока точка на топене и химическа инертност, ние в Semicorex сме посветени на доставянето на продукти, които отговарят на най-високите стандарти за качество и производителност, гарантирайки, че нашите клиенти остават в челните редици на иновациите в полупроводниковата индустрия.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor is a graphite tray coated with tantalum carbide, used in silicon carbide epitaxial growth to enhance wafer quality and performance. Choose Semicorex for its advanced coating technology and durable solutions that ensure superior SiC epitaxy results and extended susceptor lifespan.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеВодещите пръстени за покритие TaC са графитен пръстен с покритие от танталов карбид, предназначени за използване в пещи за растеж на кристали от силициев карбид за подобряване на качеството на кристалите. Изберете Semicorex заради неговата усъвършенствана технология за покритие, гарантираща превъзходна издръжливост, термична стабилност и оптимизирана производителност на растеж на кристали.*
Прочетете ощеИзпратете запитване