Планетарна плоча с TaC покритие

Планетарната плоча с покритие Semicorex TaC служи като ключов компонент в MOCVD реакторите, показвайки планетарен дизайн, характеризиращ се с многобройни вафлени джобове, подредени по повърхността ѝ. Тези джобове са специално създадени, за да поемат надеждно пластините по време на фазата на растеж на всеки епитаксиален слой, като стабилизират пластините на субстрата и минимизират движението на субстрата при повишени температури на процеса. Точната геометрия на джоба осигурява последователно поставяне на пластини, което е важно за еднаква дебелина на епитаксиалните слоеве и нива на еднородност на дефектите на субстрата за всички пластини, отгледани по време на един и същи процес.

Важен аспект на дизайна на планетарната плоча отново е проектираната дисперсия на фини отвори за газов поток по повърхността на плочата. Тези отвори са внимателно проектирани и стратегически позиционирани специално за измерване на потока от прекурсорни газове в реактора, така че се постига равномерно разпръскване на газа и равномерно отлагане сред всяка пластина. Във всеки MOCVD процес аспектите на газовата динамика са от решаващо значение за определяне на качествата на филма, равномерността на дебелината и цялостната производителност на устройството. Оптимизираният дизайн на отвора наTaC покритиеPlanetary Plate гарантира, че всички вафли преминават през едни и същи условия на процеса, което осигурява оптимален начин за подобряване на добива и възпроизводимостта.

TheTaC (танталов карбид) покритиедопълнително удължава работата и живота на планетарната плоча. Танталовият карбид е изключително твърд, химически инертен и топлопроводим, което го прави отлично покритие за екстремни MOCVD среди. По време на епитаксия компонентите в реактора ще се сблъскат с високи температури, реактивни прекурсорни газове и излагане на плазма. TaC покритието служи като здрава бариера срещу корозия, окисление и генериране на частици, което води до значително удължаване на живота на планетарната плоча в сравнение с плоча без покритие или с конвенционално покритие.

Дълголетието и издръжливостта на планетарната плоча с TaC покритие я правят рентабилен избор за MOCVD системи. Издръжливият TaC слой може да издържи на повтарящи се термични цикли и излагане на екстремни технологични газове, като същевременно поддържа структурна цялост и стабилност на работата, докато работи за продължителни времеви рамки.