RTP SiC Coating Carrier

Semicorex RTP SiC Coating Carrier предлага превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини. Със своя висококачествен графит с покритие от SiC, този продукт е проектиран да издържа на най-тежките условия на отлагане за епитаксиален растеж. Високата топлопроводимост и отличните свойства на разпределение на топлината осигуряват надеждна работа при RTA, RTP или грубо химическо почистване.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Нашият RTP SiC Coating Carrier е проектиран да издържа на най-трудните условия на средата на отлагане. Със своята висока устойчивост на топлина и корозия, епитаксиалните фиксатори са подложени на перфектната среда за отлагане за епитаксиален растеж. Финото кристално покритие SiC върху носача осигурява гладка повърхност и висока издръжливост срещу химическо почистване, докато материалът е проектиран да предотвратява пукнатини и разслояване.
В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествен, рентабилен носител на RTP SiC покритие, ние даваме приоритет на удовлетвореността на клиентите и предоставяме рентабилни решения. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор, доставяйки висококачествени продукти и изключително обслужване на клиентите.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия RTP SiC Coating Carrier.

Параметри на RTP SiC Coating Carrier

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC Î² фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	Î¼m	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J·kg-1 ·K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt огъване, 1300 â)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на RTP SiC Coating Carrier

Графит с високочисто SiC покритие
Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност
Фин SiC кристал с покритие за гладка повърхност
Висока издръжливост срещу химическо почистване
Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.