RTP носеща плоча с SiC покритие за епитаксиален растеж

Semicorex SiC покрита RTP носеща плоча за епитаксиален растеж е идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини. Със своите висококачествени въглеродно-графитни фиксатори и кварцови тигели, обработени от MOCVD върху повърхността на графит, керамика и др., този продукт е идеален за обработка на пластини и обработка на епитаксиален растеж. Носачът с SiC покритие осигурява висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината, което го прави надежден избор за RTA, RTP или грубо химическо почистване.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Нашата RTP носеща плоча с SiC покритие за епитаксиален растеж е проектирана да издържа на най-трудните условия на средата на отлагане. Със своята висока устойчивост на топлина и корозия, епитаксиалните фиксатори са подложени на перфектната среда за отлагане за епитаксиален растеж. Финото SiC кристално покритие върху носача осигурява гладка повърхност и висока издръжливост срещу химическо почистване, докато материалът е проектиран да предотвратява пукнатини и разслояване.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашата RTP носеща плоча с SiC покритие за епитаксиален растеж.

Параметри на RTP носеща плоча с SiC покритие за епитаксиален растеж

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
Твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на RTP носеща плоча с SiC покритие за епитаксиален растеж

Графит с високочисто SiC покритие
Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна еднородност
Фин SiC кристал с покритие за гладка повърхност
Висока устойчивост срещу химическо почистване
Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.

Горещи маркери: RTP носеща плоча с SiC покритие за епитаксиален растеж, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализирана, насипна, усъвършенствана, издръжлива

Продуктов етикет

Свързана категория