SiC графит RTP носеща плоча за MOCVD

Semicorex SiC Graphite RTP носеща плоча за MOCVD предлага превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност, което я прави идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини. С висококачествен графит с покритие от SiC, този продукт е проектиран да издържа на най-тежките условия на отлагане за епитаксиален растеж. Високата топлопроводимост и отличните свойства за разпределение на топлината осигуряват надеждна работа при RTA, RTP или грубо химическо почистване.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Нашата SiC графитна RTP носеща плоча за MOCVD за епитаксиален растеж на MOCVD е идеалното решение за работа с пластини и обработка на епитаксиален растеж. С гладка повърхност и висока издръжливост срещу химическо почистване, този продукт осигурява надеждна работа в тежки среди на отлагане.
Материалът на нашата носеща плоча от SiC графит RTP за MOCVD е проектиран да предотвратява пукнатини и разслояване, докато превъзходната устойчивост на топлина и топлинна еднородност осигуряват постоянна производителност за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашата носеща плоча от SiC графит RTP за MOCVD.

Параметри на SiC графит RTP носеща плоча за MOCVD

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC Î² фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	Î¼m	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J·kg-1 ·K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt огъване, 1300 â)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на SiC графит RTP носеща плоча за MOCVD

Графит с високочисто SiC покритие
Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна еднородност
Фин SiC кристал с покритие за гладка повърхност
Висока издръжливост срещу химическо почистване
Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.

Горещи маркери: SiC графит RTP носеща плоча за MOCVD, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализирана, насипна, усъвършенствана, издръжлива