RTP Graphite Carrier Plate на Semicorex е идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини, включително епитаксиално израстване и обработка на обработка на пластини. Нашият продукт е проектиран да предлага превъзходна устойчивост на топлина и топлинна еднородност, като гарантира, че епитаксиалните фиксатори са подложени на околната среда на отлагане с висока устойчивост на топлина и корозия.
Нашият продукт включва високочист графит с покритие от SiC, който предлага отлични свойства за разпределение на топлината, гарантирайки, че покритият с SiC носител има гладка повърхност, без пукнатини и разслояване. Нашата RTP графитна носеща плоча е с фино покритие от силициев карбид, което гарантира, че повърхността е гладка и без никакви дефекти. Този продукт е много издръжлив срещу грубо химическо почистване и е проектиран да гарантира, че няма да се появят пукнатини и разслояване.
Ние предлагаме ценово предимство, с което нашите конкуренти не могат да се сравнят, и се ангажираме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
С нашата графитна носеща плоча RTP можете да сте сигурни в отлична производителност, превъзходна устойчивост на топлина и топлинна еднородност. Носачът с покритие от SiC е проектиран да издържа на високи температури и е силно устойчив на химическо почистване, което гарантира, че ще продължи много години. Нашият продукт е проектиран да бъде лесен за използване, което го прави идеален както за нови, така и за опитни потребители.
В Semicorex ние се ангажираме да предоставяме висококачествени продукти и услуги на нашите клиенти. Ние използваме само най-добрите материали и нашите продукти са проектирани да отговарят на най-високите стандарти за качество и производителност. Нашата RTP графитна носеща плоча не е изключение. Свържете се с нас днес, за да научите повече за това как можем да ви помогнем с вашите нужди за обработка на полупроводникови пластини.
Параметри на RTP графитна носеща плоча
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
Твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt завой, 1300 ℃) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на RTP графитна носеща плоча
Графит с високочисто SiC покритие
Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна еднородност
Фин SiC кристал с покритие за гладка повърхност
Висока устойчивост срещу химическо почистване
Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.