CVD държач за покритие на вафли

Semicorex CVD Coating Holder е високоефективна част, предназначена за поддържане и задържане на вафли по време на прецизния растеж на полупроводникови материали, използвайки процеси на епитаксия. Той е покрит с карбид Tantalum (TAC), който допринася за неговата изключителна издръжливост и надеждност при взискателни условия.

Основни характеристики:

Tantalum карбидно покритие: Покритието на държача за вафли с карбид Tantalum (TAC) се дължи на неговата твърдост, устойчивост на износване и термична стабилност. Това покритие допринася значително за способността на продукта да се съпротивлява на суровите химически среди, както и с високите температури и намира приложението в носенето на точно това, което се изисква от производството на полупроводници.

Технология за свръхкритично покритие: Покритието се прилага с помощта на метод за отлагане на суперкритично течност, който гарантира равномерния и плътния слой TAC. Технологията за усъвършенствано покритие осигурява по-добро адхезия и намаляване на дефектите, осигурявайки висококачествено, дълготрайно покритие с сигурно дълголетие.

Дебелина на покритието: Покритието на TAC може да достигне дебелина до 120 микрона, което осигурява идеален баланс на издръжливост и прецизност. Тази дебелина гарантира, че държачът на вафли може да издържи на високи температури, налягане и реактивна среда, без да компрометира неговата структурна цялост.

Отлична термична стабилност: Покритието на карбид Tantalum предлага изключителна термична стабилност, което позволява на държача на вафли надеждно да се изпълнява в условията на високотемпературни условия, характерни за полупроводниковите епитаксични процеси. Тази характеристика е от решаващо значение за поддържане на последователни резултати и гарантиране на качеството на полупроводниковия материал.

Корозия и устойчивост на износване: Покритието на TAC осигурява отлична устойчивост на корозия и износване, като гарантира, че държачът на вафли може да издържи излагането на реактивни газове и химикали, които обикновено се намират в полупроводниковите процеси. Тази издръжливост удължава живота на продукта и намалява необходимостта от чести замествания, повишавайки оперативната ефективност.

Приложения:

Притежателят на вафли с CVD покритие е специално проектиран за процеси на епитаксия на полупроводникови епитакси, където прецизният контрол и целостта на материала са от съществено значение. Използва се при техники като епитаксия на молекулярния лъч (MBE), отлагане на химични пари (CVD) и метало-органично отлагане на химически пари (MOCVD), където държачът на вафли трябва да издържи на екстремни температури и реактивна среда.

В полупроводниковата епитаксия прецизността е от решаващо значение за отглеждането на висококачествени тънки филми върху субстрат. Притежателят на вафли с CVD покритие гарантира, че вафлите са сигурно поддържани и поддържани при оптимални условия, допринасяйки за последователното производство на висококачествени полупроводници.

Semicorex CVD Coating Holder е проектиран с помощта на авангардни материали и модерни технологии за покритие, за да отговори на високите изисквания на полупроводниковата епитаксия. Използването на свръхкритично отлагане на течността за дебело, равномерно TAC покритие гарантира несравнима издръжливост, прецизност и дълголетие. Със своята превъзходна термична и химическа устойчивост, нашият държач за вафли е проектиран да осигури надеждни показатели в най -предизвикателната среда, като спомага за подобряване на ефективността на вашите полупроводникови производствени процеси.