Вафлена лодка за полупроводников процес

Semicorex осигурява лодки за вафли, пиедестали и персонализирани носители за вафли както за вертикални/колонни, така и за хоризонтални конфигурации. Ние сме производител и доставчик на покритие от силициев карбид от много години. Нашата вафлена лодка за полупроводников процес има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex SiC Wafer Boat за полупроводников процес, най-доброто решение за работа с пластини и защита при производството на полупроводници. Нашата вафлена лодка за полупроводников процес е направена от висококачествен силициев карбид, който има добра устойчивост на корозия и отлична устойчивост на високи температури и термичен шок. Усъвършенстваната керамика осигурява отлична термична устойчивост и плазмена издръжливост, като същевременно смекчава частиците и замърсителите за носители за пластини с голям капацитет.

Параметри на вафлена лодка за полупроводников процес

Технически свойства
Индекс	Мерна единица	Стойност
Име на материала		Реакционно синтерован силициев карбид	Спечен силициев карбид без налягане	Прекристализиран силициев карбид
Състав		RBSiC	SSiC	R-SiC
Обемна плътност	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Якост на огъване	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Якост на натиск	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
твърдост	Кнуп	2700	2800	/
Прекъсваща упоритост	MPa m1/2	4.5	4	/
Топлопроводимост	Вт/м.к	95	120	23
Коефициент на термично разширение	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Специфична топлина	Джаул/g 0k	0.8	0.67	/
Максимална температура на въздуха	℃	1200	1500	1600
Модул на еластичност	Общ успех	360	410	240

Характеристики на Wafer Boat за полупроводников процес

Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност
Фин SiC кристал с покритие за гладка повърхност
Висока издръжливост срещу химическо почистване
Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.

Горещи маркери: Вафлена лодка за полупроводников процес, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализирана, насипна, усъвършенствана, издръжлива