Вафлена лодка от силициев карбид

Semicorex проектира полупроводникова керамика за вашите OEM инструменти за полуфабрикати и компоненти за обработка на пластини. Нашата вафлена лодка от силициев карбид има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Силициево-карбидната вафлена лодка на Semicorex, отличаваща се с изключително висока чистота (до 99,99%), отлична устойчивост на плазма и устойчивост на топлина, както и ограничена поява на частици, се използва в частите на оборудването за обработка на полупроводници, включително структурни компоненти и инструменти.
В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествена, рентабилна вафлена лодка от силициев карбид, ние даваме приоритет на удовлетвореността на клиентите и предоставяме рентабилни решения. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор, доставяйки висококачествени продукти и изключително обслужване на клиентите.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашата вафлена лодка от силициев карбид.

Параметри на вафлена лодка от силициев карбид

Технически свойства
Индекс	Мерна единица	Стойност
Име на материала		Реакционно синтерован силициев карбид	Спечен силициев карбид без налягане	Прекристализиран силициев карбид
Състав		RBSiC	SSiC	R-SiC
Обемна плътност	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Якост на огъване	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Якост на натиск	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
твърдост	Кнуп	2700	2800	/
Прекъсваща упоритост	MPa m1/2	4.5	4	/
Топлопроводимост	Вт/м.к	95	120	23
Коефициент на термично разширение	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Специфична топлина	Джаул/g 0k	0.8	0.67	/
Максимална температура на въздуха	℃	1200	1500	1600
Модул на еластичност	Общ успех	360	410	240

Разликата между SSiC и RBSiC:

1. Процесът на синтероване е различен. RBSiC е да инфилтрира свободен Si в силициев карбид при ниска температура, SSiC се образува чрез естествено свиване при 2100 градуса.

2. SSiC има по-гладка повърхност, по-висока плътност и по-висока якост, за някои уплътнения с по-строги изисквания към повърхността, SSiC ще бъде по-добър.

3. Различно използвано време при различни PH и температура, SSiC е по-дълъг от RBSiC

Характеристики на вафлената лодка от силициев карбид

Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност
Фин SiC кристал с покритие за гладка повърхност
Висока издръжливост срещу химическо почистване
Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.