SiC вафлена касета

Касетата за вафли Semicorex SiC, известна още като вафлена лодка с плочки, е разработена специално за операции на окисление, дифузия и отгряване при температури над 1200°C. Касетите осигуряват значителна механична опора, както и подравняване за много пластини наведнъж по време на използване на високотемпературна пещ и показват голяма механична стабилност и стабилност на размерите по време на термичен стрес и след това.  Търсенето на ултрачисти и термично стабилни материали за системи за работа с пластини се увеличава, тъй като полупроводниковите устройства намаляват по размер и увеличават производителността.

Касетата е изработена от високочистосилициев карбид, има и покрития, които могат да се нанасят за още по-големи ползи. SiC има отлична устойчивост на термичен удар, корозия и деформация на размерите.  SiC има уникална твърдост, химическа инертност и топлопроводимост, така че е идеален материал за тази технологична среда. SiC, в сравнение с алтернативите на кварца и алуминиевия оксид, няма да намали неговите механични и химични свойства при високи температури на обработка, като по този начин намалява риска от замърсяване и подобрява еднородността на процеса на пластини по време на производствените процеси.

Свръхвисоката чистота на касетата за пластини SiC показва устойчивост на метални или йонни замърсители, навлизащи в камерата за обработка; нещо, което е абсолютно необходимо за висока чистота, за да отговори на изискванията на процеса за усъвършенствани процеси за производство на полупроводници. Чрез минимизиране на източниците на замърсители, касетите със силициев карбид ще увеличат добива на пластини и надеждността на устройството.

Технологията за прецизна обработка на Semicorex позволява всяка касета да бъде произведена с тесни допуски, равномерна стъпка на прореза и паралелно подравняване. Прецизната машинна обработка на материалите поддържа плавно зареждане и разтоварване на вафли, което намалява вероятността от надраскване при работа с вафли. Прецизното разстояние на слотовете позволява равномерна температура и въздушен поток през всички пластини, което насърчава равномерността на окисляването и дифузията, като същевременно намалява променливостта на процеса.

SiC керамика има отлична топлопроводимост, стабилност на размерите и осигурява надеждна работа при многократни термични цикли. Материята е стабилна и не се деформира и не се напуква; неговата висока твърдост поддържа структурна цялост при висока температура за дълги периоди от време, като значително намалява механичното напрежение върху пластините, като същевременно ограничава вероятността от нежелани частици, генерирани от боравене поради триене или микровибрация.

Освен товаSiC керамикаИнертността към химикали предпазва вафлите от реакция към процесните газове (напр. кислород, водород, амоняк), които обикновено участват по време на обработката. Касетите с вафли са стабилни в окисляващи и неокисляващи атмосфери и могат да бъдат включени в работния процес на пещта чрез редица процеси като окисление, дифузия, LPCVD и отгряване.

За да отговори на специфичните изисквания на процеса, Semicorex предлага персонализирани SiC касети за пластини в различни размери, брой слотове и конфигурации. Всяка единица се подлага на строга проверка на качеството и повърхностна обработка, за да се гарантира гладкост, чистота и точност на размерите. Опционалното повърхностно полиране допълнително намалява генерирането на частици и подобрява съвместимостта с автоматизираните системи за обработка на вафли.