SiC вафлена лодка

Semicorex осигурява лодки за вафли, пиедестали и персонализирани носители за вафли както за вертикални/колонни, така и за хоризонтални конфигурации. Ние сме производител и доставчик на покритие от силициев карбид от много години. Нашата SiC Wafer Boat има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Представяме ви нашата висококачествена лодка за вафли от SiC, предназначена да осигури надеждно решение за обработка на вафли в различни индустрии. Тези керамични пиедестали са произведени с помощта на керамика с висока чистота, която предлага отлична устойчивост на термичен удар, абразия и химическа корозия, което ги прави идеални за сурови среди за обработка на вафли.
Нашите SiC Wafer Boats също могат да се персонализират много и ние можем да работим с вас, за да създадем персонализирани пиедестали, които да отговарят на вашите уникални спецификации. Ние се гордеем със способността си да доставяме висококачествени, надеждни продукти, които отговарят на изискванията на нашите клиенти. Нашите керамични вафлени лодки са направени да издържат и предлагат дълъг експлоатационен живот, като гарантират, че получавате най-голяма стойност от вашата инвестиция.
Поръчайте сега и изпитайте предимствата на нашата висококачествена лодка за вафли от SiC във вашите операции по обработка на вафли.

Параметри на SiC Wafer Boat

Технически свойства
Индекс	единица	Стойност
Име на материала		Реакционно синтерован силициев карбид	Спечен силициев карбид без налягане	Прекристализиран силициев карбид
Състав		RBSiC	SSiC	R-SiC
Обемна плътност	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Якост на огъване	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Якост на натиск	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
твърдост	Бутон	2700	2800	/
Прекъсваща упоритост	MPa m1/2	4.5	4	/
Топлопроводимост	Вт/м.к	95	120	23
Коефициент на топлинно разширение	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Специфична топлина	Джаул/g 0k	0.8	0.67	/
Максимална температура на въздуха	℃	1200	1500	1600
Модул на еластичност	Gpa	360	410	240

Характеристики на SiC Wafer Boat

- CVD покрития от силициев карбид за подобряване на експлоатационния живот.
- Топлоизолация от високоефективен пречистен твърд карбон.
- Имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
- Керамика с висока чистота и SiC покритие за устойчивост на дупки и по-дълъг живот