Ръце на робот SIC

Hands Robot Hands Semicorex SIC са най-новите в крайните ефекти, предназначени за приложения за трансфер на вафли на роботика в областта на производството на полупроводници. Изработени с високоефективни материали, ние проектирахме тези роботизирани ръце със силициев карбид (SIC) керамика, за да осигурим максимална топлинна таблица, химическа стабилност и механична якост за все по -сурова среда на производство или работа с вафли.

Централно за нашите ръце на робота на SIC е нашето собствено напредналосилициев карбидИзвестен със своята висока твърдост (MOHS 9), висока топлопроводимост и устойчивост на корозия. За разлика от традиционните материали като алуминий или неръждаема стомана, SIC е съвместим с суровата среда за обработка на почистващите помещения за полупроводници, включително преработени високи температури и реактивни газове. Ние предлагаме дългосрочна издръжливост и минимизираме замърсяването, в съответствие със строгата чистота, необходима за производството на вафли.

Полупроводниковото оборудване с ръцете на робота използва отрицателно засмукване на налягане, за да се получи вафлата, т.е. полупроводниковата вафла се адсорбира на кварцовия или керамичния пръст, използвайки принципа на смукателната чаша, последвано от транспортиране, използвайки съответно механично действие, удължаване, въртящи се и повдигащи движения.

„Висока скорост“ и „Чистота“ са основните характеристики на оборудването за обработка на вафли за полупроводници. За да отговори на тези характеристики, оборудването има изключително строги изисквания относно работата на използваните компоненти. Тъй като повечето процеси се извършват във вакуум, висока температура и корозивна газова среда, рамото за обработка, използвано в оборудването, трябва да има отлични физически свойства, като: висока механична якост, устойчивост на корозия, висока температурна устойчивост, устойчивост на износване, висока твърдост, изолация и др., И напредналите керамични материали могат да отговарят на тези условия.

Силиконова карбидна керамикаИмайте физическите свойства на плътната текстура, висока твърдост, висока устойчивост на износване, както и добра топлинна устойчивост, отлична механична якост, добра изолация във високотемпературна среда, добра устойчивост на корозия и други физически свойства. Той е отличен материал за приготвяне на оръжие за обработка на полупроводниково оборудване.

Признавайки, че роботизираните платформи варират в различните FAB и производителите на инструменти, нашите ръце на SIC Robot се предлагат в редица стандартизирани размери и могат да бъдат персонализирани за уникални конфигурации на инструменти. Монтажните интерфейси, геометриите на пръстите и функциите за поддръжка на вафли могат да бъдат съобразени с конкретното оборудване и нуждите на процеса. Независимо дали прехвърляте вафли в рамките на клъстерни инструменти, вакуумни камери или FOUP системи, нашите роботи ръце се интегрират безпроблемно с водещи марки роботика.

Всяка ръка на робот SIC претърпява строго почистване, проверка и опаковки, за да се гарантира спазването на стандартите за чиста стая от клас 1. Непорната антистатична повърхност на SIC намалява адхезията на частиците, докато здравата структура се съпротивлява на микрофрактурите, които могат да доведат до генериране на частици във времето. Това ги прави идеални за процесите на вафли от предния край, при които дори и най-малкото замърсяване може да доведе до повреда на устройството.

От имплантацията на епитакси и йони до PVD, CVD и CMP, ръцете на SIC робот се вярват във всяка стъпка от производството на полупроводникови устройства. Тяхната превъзходна устойчивост на термичен шок и плазмена среда ги прави незаменими в усъвършенстваните логически и силови полупроводникови линии, особено когато се използват субстрати на SIC вафли.