SiC керамичен вакуумен патронник

Докато се стремят към закона на Мур, съоръженията за производство на полупроводници се нуждаят от платформи за държане на пластини, които могат да издържат на тежки механични сили и да останат плоски, без неравности или спадове. Керамичният вакуумен патронник Semicorex SiC осигурява идеалното решение за замяна на традиционните патронници от алуминий и неръждаема стомана; те ще осигурят необходимото съотношение твърдост към тегло и няма да реагират химически, като и двете са от съществено значение за обработката на пластини от 300 mm и повече.

1. Материални предимства чрез използване на синтерован плътен силициев карбид (SSiC).

Основният компонент на нашияSiC керамикаВакуумният патронник е синтерованСилициев карбид, материал, определен от неговата много силна ковалентна връзка. Нашият SSiC не е порест или реакционно свързан; по-скоро се синтерува при > 2000 градуса по Целзий, за да се постигне почти теоретична плътност (> 3,10 g/cm3) — просто казано, той е по-твърд от другите материали, използвани за производство на вакуумни патронници.

Изключителна механична твърдост.

Модулът на Йънг на SSiC е приблизително 420 GPa, което го прави много по-твърд от двуалуминиевия оксид (приблизително 380 GPa). Поради този висок модул на еластичност, нашите патронници ще останат стабилни както при вакуум, така и при условия на високоскоростно въртене и няма да се деформират; следователно, вафлите няма да "картофени чипове" (т.е. да се деформират) и винаги ще правят равномерен контакт по цялата си повърхност.

Термична стабилност и нисък CTE

При процеси, включващи UV светлина с висок интензитет или топлина, предизвикана от триене, топлинното разширение може да доведе до грешки при наслагване. Нашите SiC патронници притежават нисък коефициент на термично разширение (CTE) от 4,0 x 10^{-6}/K, съчетан с висока топлопроводимост (>120W/m·K). Тази комбинация позволява на патронника да разсейва топлината бързо, поддържайки стабилност на размерите по време на дълготрайни литографски или метрологични цикли.

2. Прецизно инженерство и проектиране

Както се вижда на изображението на продукта, нашите вакуумни патронници разполагат със сложна мрежа от концентрични и радиални вакуумни канали. Те са обработени с CNC с изключителна прецизност, за да осигурят равномерно засмукване през пластината, минимизирайки локализираните точки на напрежение, които биха могли да доведат до счупване на пластината.

Субмикронна плоскост: Ние използваме усъвършенствани техники за диамантено шлайфане и прилепване, за да постигнем глобална плоскост от <1μm. Това е от решаващо значение за поддържане на фокусната дълбочина, необходима в усъвършенстваните литографски възли.

Олекотяване (по избор): За да се приспособят етапите с високо ускорение в степерите и скенерите, ние предлагаме вътрешни "олекотени" структури тип пчелна пита, които намаляват масата, без да компрометират структурната твърдост.

Прорези за подравняване по периметъра: Интегрираните прорези позволяват безпроблемна интеграция с роботизирани крайни изпълнители и сензори за подравняване в рамките на инструмента за обработка.

3. Критични приложения във веригата за доставки на полупроводници

Нашите SiC керамични вакуумни патронници са индустриален стандарт за:

Изтъняване и смилане на вафли (CMP): Осигуряване на твърда опора, необходима за изтъняване на вафли до микронно ниво без отчупване на ръбовете.

Литография (Степери/Скенери): Действа като ултраплоска „сцена“, която осигурява прецизно лазерно фокусиране за възли под 7nm.

Метрология и AOI: Гарантиране, че пластините са идеално плоски за проверка с висока разделителна способност и картографиране на дефекти.

Wafer Dicing: Осигуряване на стабилно засмукване по време на високоскоростни механични или лазерни операции на кубчета.

Ние в Semicorex разбираме, че един вакуумен патронник е толкова добър, колкото и целостта на повърхността му. Всеки патронник преминава през многоетапен процес на контрол на качеството:

Лазерна интерферометрия: За проверка на плоскостта по целия диаметър.

Тестване за течове с хелий: Гарантиране, че вакуумните канали са перфектно запечатани и ефективни.

Почистване на чисти помещения: Обработено в среди от клас 100, за да се гарантира нулево метално или органично замърсяване.

Нашият инженерен екип работи в тясно сътрудничество с производителите на OEM инструменти, за да персонализира моделите на слотовете, размерите и интерфейсите за монтаж. Избирайки Semicorex, вие инвестирате в компонент, който намалява времето за престой, подобрява точността на наслагването и намалява общите ви разходи за притежание чрез изключителна издръжливост.