Полупроводников вафлен патронник

Усъвършенстваните компоненти с покритие от силициев карбид с висока чистота на Semicorex са създадени да издържат на екстремни среди в процеса на обработка на пластини. Нашият полупроводников вафлен патронник има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Ултра-плоският полупроводников патронник Semicorex е покрит със SiC с висока чистота, използван в процеса на обработка на пластините. Патронник за полупроводникови пластини от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия и подобрява управлението на добива за обработка на полупроводникови пластини. Конфигурациите с нисък повърхностен контакт минимизират риска от частици от задната страна за чувствителни приложения.

Параметри на полупроводниковия пластинчат патронник

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC Î² фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	Î¼m	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J·kg-1 ·K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt огъване, 1300 â)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300