Фокусен пръстен за плазмена обработка

Фокусиращият пръстен за плазмена обработка Semicorex е специално проектиран да отговори на високите изисквания на обработката с плазмено ецване в полупроводниковата индустрия. Нашите усъвършенствани компоненти с покритие от силициев карбид с висока чистота са създадени да издържат на екстремни среди и са подходящи за използване в различни приложения, включително слоеве от силициев карбид и епитаксиални полупроводници.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Нашият фокусен пръстен за плазмена обработка е много стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване, което ги прави идеален избор за използване в камери за плазмено ецване (или сухо ецване). Проектирани да подобрят равномерността на ецване около ръба или периметъра на пластината, нашите пръстени за фокусиране или ръбови пръстени са проектирани да минимизират замърсяването и непланираната поддръжка.

Нашето SiC покритие е плътно, устойчиво на износване покритие от силициев карбид с висока устойчивост на корозия и топлина, както и отлична топлопроводимост. Ние нанасяме SiC на тънки слоеве върху графита, използвайки процеса на химическо отлагане на пари (CVD). Това гарантира, че нашите пръстени за фокусиране от SiC имат превъзходно качество и издръжливост, което ги прави надежден избор за вашите нужди от обработка с плазмено ецване.

Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия фокусен пръстен за плазмена обработка.

Параметри на пръстена за фокусиране на плазмената обработка

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на фокусния пръстен за плазмена обработка

- CVD покрития от силициев карбид за подобряване на експлоатационния живот.

- Топлоизолация от високоефективен пречистен твърд карбон.

- Карбон/Карбон композитен нагревател и плоча. - Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.

- Графит с висока чистота и SiC покритие за устойчивост на дупки и по-дълъг живот