Краен ефектор за работа с вафли

Semicorex End Effector за работа с вафли са с прецизни размери и термично стабилни за обработка на вафли. Ние сме производител и доставчик на елементи с покритие от силициев карбид в продължение на много години. Нашите продукти имат добро ценово предимство и покриват повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex End Effector за манипулиране на вафли са с прецизни размери и термично стабилни, като същевременно имат гладък, устойчив на абразия CVD SiC покривен филм за безопасно боравене с вафли, без да повреждат устройствата или да създават замърсяване с частици, което може да премести полупроводникови вафли между позиции в оборудването за обработка на вафли и носителите прецизно и ефективно. Нашият краен ефектор с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота за манипулиране на вафли осигурява превъзходна устойчивост на топлина, равномерна топлинна еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя и трайна химическа устойчивост.

В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни продукти на нашите клиенти. Нашият краен ефектор за работа с вафли има ценово предимство и се изнася за много европейски и американски пазари. Ние се стремим да бъдем ваш дългосрочен партньор, предоставяйки продукти с постоянно качество и изключително обслужване на клиентите.

Параметри на крайния ефектор за работа с вафли

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt завой, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300