Устойчиви пръстени за фокусиране за обработка на полупроводници

Издръжливите фокусни пръстени Semicorex за обработка на полупроводници са проектирани да издържат на екстремни среди на камери за плазмено ецване, използвани при обработка на полупроводници. Нашите фокусни пръстени са изработени от графит с висока чистота, покрит с плътно, устойчиво на износване покритие от силициев карбид (SiC). SiC покритието има високи корозионни и топлоустойчиви свойства, както и отлична топлопроводимост. Ние нанасяме SiC на тънки слоеве върху графита, като използваме процеса на химическо отлагане на пари (CVD), за да подобрим експлоатационния живот на нашите фокусиращи пръстени.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Нашите издръжливи пръстени за фокусиране за обработка на полупроводници са проектирани да подобрят равномерността на ецване около ръба или периметъра на пластината, минимизирайки замърсяването и непланираната поддръжка. Те са много стабилни за бързо термично отгряване (RTA), бърза термична обработка (RTP) и грубо химическо почистване.

В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни издръжливи фокусни пръстени за обработка на полупроводници, даваме приоритет на удовлетвореността на клиентите и предоставяме рентабилни решения. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор, доставяйки висококачествени продукти и изключително обслужване на клиентите.

Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашите издръжливи пръстени за фокусиране за обработка на полупроводници.

Параметри на трайни фокусни пръстени за обработка на полупроводници

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
Твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на трайни фокусни пръстени за обработка на полупроводници

● Покритие от графит с висока чистота и SiC за устойчивост на дупки и по-дълъг живот.

● Както графитният субстрат, така и слоят SiC имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.

● SiC покритието се нанася на тънки слоеве за подобряване на експлоатационния живот.

Горещи маркери: Устойчиви пръстени за фокусиране за обработка на полупроводници, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализирани, насипни, разширени, издръжливи

Продуктов етикет

Свързана категория