Устойчиви пръстени за фокусиране за обработка на полупроводници

Нашите издръжливи пръстени за фокусиране за обработка на полупроводници са проектирани да подобрят равномерността на ецване около ръба или периметъра на пластината, минимизирайки замърсяването и непланираната поддръжка. Те са много стабилни за бързо термично отгряване (RTA), бърза термична обработка (RTP) и грубо химическо почистване.

В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни издръжливи фокусни пръстени за обработка на полупроводници, даваме приоритет на удовлетвореността на клиентите и предоставяме рентабилни решения. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор, доставяйки висококачествени продукти и изключително обслужване на клиентите.

Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашите издръжливи пръстени за фокусиране за обработка на полупроводници.

Параметри на трайни фокусни пръстени за обработка на полупроводници

Характеристики на трайни фокусни пръстени за обработка на полупроводници

â Графит с висока чистота и SiC покритие за устойчивост на дупки и по-дълъг живот.

â Както графитният субстрат, така и слоят SiC имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.

â SiC покритието се нанася на тънки слоеве за подобряване на експлоатационния живот.