Партидна вафлена лодка

Semicorex осигурява лодки за вафли, пиедестали и персонализирани носители за вафли както за вертикални/колони, така и за хоризонтални конфигурации. Ние сме производител и доставчик на покритие от силициев карбид от много години. Нашата партидна вафлена лодка има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex Batch Wafer Boat са изработени от висококачествен силициев карбид керамичен материал за превъзходна химическа устойчивост и термична стабилност.
Нашата партидна вафлена лодка има гладка повърхност и осигурява отлична опора и защита на вафли по време на обработка. SiC покритието осигурява еднородност и стабилност по време на обработка, предпазвайки пластините от замърсяване и повреда. С отлична топлопроводимост и превъзходна механична якост, нашите държачи за вафли осигуряват постоянни и надеждни резултати.
Нашият екип от експерти се ангажира да предоставя най-доброто качество и обслужване. Ние предлагаме персонализирани дизайни, за да отговорим на вашите специфични изисквания, а нашите партидни вафлени лодки са подкрепени от нашата програма за осигуряване на качество.

Параметри на пакетната вафлена лодка

Технически свойства
Индекс	единица	Стойност
Име на материала		Реакционно синтерован силициев карбид	Спечен силициев карбид без налягане	Прекристализиран силициев карбид
Състав		RBSiC	SSiC	R-SiC
Обемна плътност	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Якост на огъване	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Якост на натиск	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
твърдост	Бутон	2700	2800	/
Прекъсваща упоритост	MPa m1/2	4.5	4	/
Топлопроводимост	Вт/м.к	95	120	23
Коефициент на топлинно разширение	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Специфична топлина	Джаул/g 0k	0.8	0.67	/
Максимална температура на въздуха	℃	1200	1500	1600
Модул на еластичност	Gpa	360	410	240

Разликата между SSiC и RBSiC:

1. Процесът на синтероване е различен. RBSiC е да инфилтрира свободен Si в силициев карбид при ниска температура, SSiC се образува чрез естествено свиване при 2100 градуса.

2. SSiC имат по-гладка повърхност, по-висока плътност и по-висока якост, за някои уплътнения с по-строги изисквания към повърхността, SSiC ще бъде по-добър.

3. Различно използвано време при различни PH и температура, SSiC е по-дълъг от RBSiC

Характеристики на Batch Wafer Boat

- Висока якост (твърдост по Моос 9,5, втора след диаманта)
- Корозионна устойчивост на киселини, основи, соли и органични разтворители
- Висока топлопроводимост, плазмена устойчивост, дълъг живот
- Полупроводници