Вафлен вакуумен патронник

Перфектни за литография от следващо поколение и приложения за обработка на вафли, ултрачистите керамични компоненти Semicorex осигуряват минимално замърсяване и осигуряват изключително дълъг живот. Нашият вафлен вакуумен патронник има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Ултра-плоският керамичен вафлен вакуумен патронник Semicorex е с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли. Вакуумен патронник за полупроводникови пластини от оборудване MOCVD. Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия и подобрява управлението на добивите за обработка на полупроводникови пластини. Конфигурациите с нисък повърхностен контакт минимизират риска от частици от задната страна за чувствителни приложения.

В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни вакуумни патронници, даваме приоритет на удовлетвореността на клиентите и предоставяме рентабилни решения. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор, доставяйки висококачествени продукти и изключително обслужване на клиентите.

Параметри на Вафлен вакуумен патронник

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300