Носачи за пластини със SiC покритие

Носачите за пластини Semicorex със SiC покритие, неразделна част от системата за епитаксиален растеж, се отличават със своята изключителна чистота, устойчивост на екстремни температури и здрави уплътнителни свойства, служейки като тава, която е от съществено значение за поддържането и нагряването на полупроводниковите пластини по време на критична фаза на отлагане на епитаксиален слой, като по този начин се оптимизира цялостната производителност на процеса MOCVD. Ние от Semicorex сме посветени на производството и доставката на високопроизводителни носители за пластини със SiC покритие, които съчетават качество с рентабилност.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Носителите на пластини Semicorex със SiC покритие показват изключителна термична стабилност и проводимост, които са от съществено значение за поддържане на постоянни температури по време на процесите на химическо отлагане на пари (CVD). Това гарантира равномерно разпределение на топлината в субстрата, което е от решаващо значение за постигане на висококачествен тънък филм и характеристики на покритието.

Носачите за вафли със SiC покритие са произведени по строги стандарти, осигуряващи еднаква дебелина и гладкост на повърхността. Тази прецизност е жизненоважна за постигане на последователни скорости на отлагане и свойства на филма в множество пластини.

SiC покритието действа като непропусклива бариера, предотвратявайки дифузията на примеси от сензора в пластината. Това минимизира риска от замърсяване, което е критично за производството на полупроводникови устройства с висока чистота. Тяхната издръжливост на Semicorex Wafer Carriers с SiC покритие намалява честотата на смяна на ток, което води до по-ниски разходи за поддръжка и минимизиране на времето за престой в операциите по производство на полупроводници.

Носачите за вафли Semicorex със SiC покритие могат да бъдат персонализирани, за да отговарят на специфични изисквания на процеса, включително вариации в размера, формата и дебелината на покритието. Тази гъвкавост позволява оптимизиране на приемника, за да отговаря на уникалните изисквания на различните процеси на производство на полупроводници. Опциите за персонализиране позволяват разработването на дизайни на ток, пригодени за специализирани приложения, като например производство в голям обем или научноизследователска и развойна дейност, осигурявайки оптимална производителност за конкретни случаи на употреба.