Тава за вафли

Semicorex осигурява полупроводникова керамика за вашите OEM инструменти за полуфабрикати и компоненти за обработка на пластини, фокусирани върху слоевете от силициев карбид в полупроводниковата индустрия. Ние сме производител и доставчик на тава за вафли в продължение на много години. Нашата тава за вафли има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Не само за фази на отлагане на тънък слой като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на вафли, Semicorex доставя ултра-чист керамичен носител, използван за поддържане на вафли. В основата на процеса, тавата за носене на вафли за MOCVD, първо се подлага на среда на отлагане, така че има висока устойчивост на топлина и корозия. Носителят с покритие от SiC също има висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашата тава за носене на вафли.

Параметри на тавата за носене на вафли

Технически свойства
Индекс	единица	Стойност
Име на материала		Реакционно синтерован силициев карбид	Спечен силициев карбид без налягане	Прекристализиран силициев карбид
Състав		RBSiC	SSiC	R-SiC
Обемна плътност	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Якост на огъване	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Якост на натиск	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Твърдост	Бутон	2700	2800	/
Прекъсваща упоритост	MPa m1/2	4.5	4	/
Топлопроводимост	Вт/м.к	95	120	23
Коефициент на топлинно разширение	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Специфична топлина	Джаул/g 0k	0.8	0.67	/
Максимална температура на въздуха	℃	1200	1500	1600
Модул на еластичност	Gpa	360	410	240

Разликата между SSiC и RBSiC:

1. Процесът на синтероване е различен. RBSiC е да инфилтрира свободен Si в силициев карбид при ниска температура, SSiC се образува чрез естествено свиване при 2100 градуса.

2. SSiC имат по-гладка повърхност, по-висока плътност и по-висока якост, за някои уплътнения с по-строги изисквания към повърхността, SSiC ще бъде по-добър.

3. Различно използвано време при различни PH и температура, SSiC е по-дълъг от RBSiC

Характеристики на тавата за носене на вафли

- CVD покрития от силициев карбид за подобряване на експлоатационния живот.
- Топлоизолация от високоефективен пречистен твърд карбон.
- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
- Графит с висока чистота и SiC покритие за устойчивост на дупки и по-дълъг живот

Налични форми на керамика от силициев карбид:

● Керамичен прът / керамичен щифт / керамично бутало

● Керамична тръба / керамична втулка / керамична втулка

● Керамичен пръстен / керамична шайба / керамичен дистанционер

● Керамичен диск

● Керамична чиния / керамичен блок

● Керамична топка

● Керамично бутало

● Керамична дюза

● Керамичен тигел

● Други керамични части по поръчка