Продукти
Тава за вафли
  • Тава за вафлиТава за вафли
  • Тава за вафлиТава за вафли

Тава за вафли

Semicorex осигурява полупроводникова керамика за вашите OEM инструменти за полуфабрикати и компоненти за обработка на пластини, фокусирани върху слоевете от силициев карбид в полупроводниковата индустрия. Ние сме производител и доставчик на тава за вафли в продължение на много години. Нашата тава за вафли има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Не само за фази на отлагане на тънък слой като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на вафли, Semicorex доставя ултра-чист керамичен носител, използван за поддържане на вафли. В основата на процеса, тавата за носене на вафли за MOCVD, първо се подлага на среда на отлагане, така че има висока устойчивост на топлина и корозия. Носителят с покритие от SiC също има висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашата тава за носене на вафли.


Параметри на тавата за носене на вафли

Технически свойства

Индекс

единица

Стойност

Име на материала

Реакционно синтерован силициев карбид

Спечен силициев карбид без налягане

Прекристализиран силициев карбид

Състав

RBSiC

SSiC

R-SiC

Обемна плътност

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2,60-2,70

Якост на огъване

MPa (kpsi)

338 (49)

380 (55)

80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)

Якост на натиск

MPa (kpsi)

1120 (158)

3970 (560)

> 600

Твърдост

Бутон

2700

2800

/

Прекъсваща упоритост

MPa m1/2

4.5

4

/

Топлопроводимост

Вт/м.к

95

120

23

Коефициент на топлинно разширение

10-6.1/°C

5

4

4.7

Специфична топлина

Джаул/g 0k

0.8

0.67

/

Максимална температура на въздуха

1200

1500

1600

Модул на еластичност

Gpa

360

410

240


Разликата между SSiC и RBSiC:

1. Процесът на синтероване е различен. RBSiC е да инфилтрира свободен Si в силициев карбид при ниска температура, SSiC се образува чрез естествено свиване при 2100 градуса.

2. SSiC имат по-гладка повърхност, по-висока плътност и по-висока якост, за някои уплътнения с по-строги изисквания към повърхността, SSiC ще бъде по-добър.

3. Различно използвано време при различни PH и температура, SSiC е по-дълъг от RBSiC


Характеристики на тавата за носене на вафли

- CVD покрития от силициев карбид за подобряване на експлоатационния живот.
- Топлоизолация от високоефективен пречистен твърд карбон.
- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
- Графит с висока чистота и SiC покритие за устойчивост на дупки и по-дълъг живот


Налични форми на керамика от силициев карбид:

● Керамичен прът / керамичен щифт / керамично бутало

● Керамична тръба / керамична втулка / керамична втулка

● Керамичен пръстен / керамична шайба / керамичен дистанционер

● Керамичен диск

● Керамична чиния / керамичен блок

● Керамична топка

● Керамично бутало

● Керамична дюза

● Керамичен тигел

● Други керамични части по поръчка



Горещи маркери: Тава за носене на вафли, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализирана, насипна, усъвършенствана, издръжлива
Свързана категория
Изпратете запитване
Моля, не се колебайте да изпратите вашето запитване във формата по-долу. Ще ви отговорим до 24 часа.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept