Semicorex осигурява полупроводникова керамика за вашите OEM инструменти за полуфабрикати и компоненти за обработка на пластини, фокусирани върху слоевете от силициев карбид в полупроводниковата индустрия. Ние сме производител и доставчик на тава за вафли в продължение на много години. Нашата тава за вафли има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Не само за фази на отлагане на тънък слой като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на вафли, Semicorex доставя ултра-чист керамичен носител, използван за поддържане на вафли. В основата на процеса, тавата за носене на вафли за MOCVD, първо се подлага на среда на отлагане, така че има висока устойчивост на топлина и корозия. Носителят с покритие от SiC също има висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашата тава за носене на вафли.
Параметри на тавата за носене на вафли
Технически свойства |
||||
Индекс |
единица |
Стойност |
||
Име на материала |
Реакционно синтерован силициев карбид |
Спечен силициев карбид без налягане |
Прекристализиран силициев карбид |
|
Състав |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Обемна плътност |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Якост на огъване |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Якост на натиск |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
Твърдост |
Бутон |
2700 |
2800 |
/ |
Прекъсваща упоритост |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Топлопроводимост |
Вт/м.к |
95 |
120 |
23 |
Коефициент на топлинно разширение |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Специфична топлина |
Джаул/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимална температура на въздуха |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Модул на еластичност |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Разликата между SSiC и RBSiC:
1. Процесът на синтероване е различен. RBSiC е да инфилтрира свободен Si в силициев карбид при ниска температура, SSiC се образува чрез естествено свиване при 2100 градуса.
2. SSiC имат по-гладка повърхност, по-висока плътност и по-висока якост, за някои уплътнения с по-строги изисквания към повърхността, SSiC ще бъде по-добър.
3. Различно използвано време при различни PH и температура, SSiC е по-дълъг от RBSiC
Характеристики на тавата за носене на вафли
- CVD покрития от силициев карбид за подобряване на експлоатационния живот.
- Топлоизолация от високоефективен пречистен твърд карбон.
- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
- Графит с висока чистота и SiC покритие за устойчивост на дупки и по-дълъг живот
Налични форми на керамика от силициев карбид:
● Керамичен прът / керамичен щифт / керамично бутало
● Керамична тръба / керамична втулка / керамична втулка
● Керамичен пръстен / керамична шайба / керамичен дистанционер
● Керамичен диск
● Керамична чиния / керамичен блок
● Керамична топка
● Керамично бутало
● Керамична дюза
● Керамичен тигел
● Други керамични части по поръчка