Вафлени лодки

Лодките с вафли Semicorex, произведени от силициев карбид с висока чистота (SIC), са основни компоненти в производството на полупроводници. Полупроводниковите процеси, в които се използват, обикновено включват високотемпературни и корозивни среди като дифузия, окисляване и LPCVD процеси. Прилагането на лодки на SIC вафли е проектирано, за да увеличи максимално термичната стабилност и химическата устойчивост, което позволява оптимална поддръжка, подравняване и транспортиране на силициеви вафли по време на обработка за оптимални добиви и производителност на устройството.

Силиконов карбид е добре документиран като отлична термично проводима керамика, показваща висока механична якост и превъзходна устойчивост на термичен удар, устойчивост на окисляване и агресивна химическа устойчивост с химикали като HF и HCl. Свойствата на SIC го правят особено привлекателен като материал за вафлени лодки за процеси за производство на полупроводници от следващо поколение и във високотемпературна среда. Лодките на SIC вафли могат да поддържат структурната цялост и стабилността на размерите при температури на процеса от> 1500 ° C, като сведат до минимум риска от изкривяване или замърсяване на вафли при критични термични обработки.

Всеки sicлодка с вафлисе произвежда от SIC с висока чист, използвайки напреднали процеси на формиране и синтероване на керамика и може да бъде пригоден за богат диапазон от диаметри на вафли (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm), както и подрежда конфигурации, независимо дали вертикални или хоризонтални. Нашите лодки на SIC вафли имат гладки повърхности и отлична плоскост, която свежда до минимум генерирането на частици и е идеална за автоматизирани системи за обработка на вафли.

Контролът и добивът на замърсяване са два от най -критичните проблеми в съвременните FABS. Чистотата и надеждността на носителя на SIC влияят на качеството на продукта и процеса на консистенция.  Лодките на SIC вафли имат много по -добро дълголетие за използване, имат по -малко изисквания за поддръжка и по -ниски TCO от алтернативите на базата на кварц или алуминиев оксид. По-доброто дълголетие също означава по-малко проблеми с проливането на микрочастици, следователно отново, влияещо върху чистотата на повърхността на вафлите и влияе върху чистата чистота в стаята.

Semicorex е фокусиран върху проектирането и производството на лодки за вафли SIC, които използват най -високите възможни суровини за чистота, комбинирани с атмосфера на атмосфера с ниска замърсяване.  Полагаме всички усилия да поддържаме ниски нива на примеси, да поддържаме порьозността при ниска стойност и еднаква микроструктура, така че работата на екипа може редовно да се наслаждава на последователни термични характеристики, прецизно разстояние между вафлите и ненадминато химическо разграждане.

Semicorex sicвафлени лодкиса необходим елемент на обработка на полупроводници с висока температура. Силиконовите карбидни лодки с висока чистота имат несравними материални характеристики, инженерни постижения и темперамент без микрозастраняване, правят ги на високо ниво на избор за производство на вафли с висока производителност. Semicorex осигурява надеждността и иновативната висока производителност, за да подкрепи най -критичните ви мисии за полупроводникови процеси.