Вафлена лодка

Semicorex Wafer Boat е проектиран да издържи на суровите условия на дифузионната пещ, като високи температури, корозивни среди и необходимостта от прецизно поставяне на вафли по време на процеса на дифузия.

Вафлената лодка е изработена от керамика от силициев карбид, избрана заради изключителните си свойства. Силициевият карбид е известен със своята висока топлопроводимост, осигуряваща равномерно разпределение на температурата в пластините по време на дифузия. Тази еднаквост е от решаващо значение за поддържане на целостта на пластините и осигуряване на постоянни нива на допинг, които са от съществено значение за функционалността на произвежданите полупроводникови устройства. В допълнение, високата точка на топене и термичната стабилност на силициевия карбид позволяват на Wafer Boat да работи при повишени температури, необходими при дифузионни процеси, често надвишаващи 1000°C, без влошаване или изкривяване.

Едно от ключовите предимства на керамиката от силициев карбид в Wafer Boat е нейната отлична химическа устойчивост. Тази устойчивост е особено важна за поддържане на чистотата на полупроводниковите пластини, тъй като всяко замърсяване може да доведе до дефекти в крайния продукт, компрометирайки работата на интегралните схеми.

Структурната цялост на Wafer Boat е друг критичен фактор в нейния дизайн. Дизайнът трябва да гарантира, че пластините са здраво задържани на място, с прецизно разстояние, което да позволи равномерно излагане на реактивните газове. Тази прецизност е жизненоважна за постигане на равномерно допиране във всички пластини, което пряко влияе върху електрическите характеристики на полупроводниковите устройства.

В допълнение към своите термични и химични свойства, керамиката от силициев карбид предлага отлична стабилност на размерите, която е от решаващо значение за изискванията за висока точност при производството на полупроводници. Тази стабилност гарантира, че пластините остават идеално подравнени, позволявайки точна и равномерна дифузия на добавките по цялата повърхност на всяка пластина, което води до производството на висококачествени полупроводникови устройства.

Semicorex Wafer Boat, изработена от керамика от силициев карбид, е основен компонент в процеса на дифузия на полупроводници. Неговата изключителна топлопроводимост, химическа устойчивост, механична якост и стабилност на размерите го правят идеално подходящ за взискателните условия на производство на полупроводници. Използването му не само повишава ефективността и надеждността на процеса на дифузия, но също така допринася за общата рентабилност на производството на полупроводници.