Wafer Boat Carrier

Semicorex Wafer Boat Carrier е изработен от графит, който е известен с изключителното си съотношение здравина към тегло и топлопроводимост. Въпреки това, за да се увеличи неговата издръжливост, всеки съд преминава през процес на нанасяне на CVD SiC покритие. Това покритие не само укрепва лодката срещу тежки работни среди, но също така я предпазва от химическа корозия и термични удари, осигурявайки дълготрайност и надеждност дори при най-взискателните условия.

Wafer Boat Carrier е проектиран с прецизно внимание към детайла. Структурата му е оптимизирана за максимална ефективност и безопасност, с прецизни размери и внимателно проектирани геометрии, които гарантират сигурното и стабилно поставяне на деликатни полупроводникови пластини по време на обработка. Това минимизира риска от повреда или замърсяване.

Wafer Boat Carrier е универсално решение, адаптивно към безброй приложения. Може да се използва при епитаксиален растеж, химическо отлагане на пари и други процеси за производство на полупроводници. Неговата здрава конструкция и химическа инертност го правят съвместим с широка гама от химични процеси, осигурявайки безпроблемна интеграция в разнообразни среди за обработка.