Вертикална вафлена лодка

Вертикалната лодка за вафли Semicorex е специално проектиран носител за множество вафли, който увеличава максимално ефективността на пространството в камерите за обработка. Тези вертикални лодки за вафли обикновено са с правоъгълна или цилиндрична форма и всяка лодка има прецизно обработени слотове или джобове, които са разположени на разстояние, за да държат сигурно отделните вафли в изправено положение. Вертикалната вафлена лодка е изработена от силициев карбид (SiC), който осигурява отлична устойчивост на високи температури, корозивни химикали и механично напрежение, което ги прави идеални за предпазване на вафли от потенциални повреди.

По време на производството на полупроводници, пластините преминават през множество сложни процеси, включително дифузия, RTP и термични полета. Вертикалната лодка за вафли играе жизненоважна роля в улесняването на тези процеси, като служи като носител за вафли, позволявайки безпроблемен трансфер между различно оборудване и етапи. Неговата вертикална ориентация минимизира отпечатъка в камерите за обработка, оптимизира производителността и позволява ефективно боравене с големи партиди вафли.

Вертикалната лодка за вафли Semicorex е крайъгълен камък на обработката на полупроводници, осигурявайки здраво и надеждно решение за безопасно боравене и транспортиране на вафли през различни етапи на производство. Неговият усъвършенстван дизайн, съчетан с изключителните свойства на SiC, подчертава основната му роля в производството на авангардни полупроводникови устройства.