Носител на силиконова пластина

Semicorex осигурява полупроводникова керамика за вашите OEM инструменти за полуфабрикати и компоненти за обработка на пластини, фокусирани върху слоевете от силициев карбид в полупроводниковата индустрия. Ние сме производител и доставчик на носител на силиконови вафли от много години. Нашият носител за силициеви вафли има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Процесите на отлагане на полупроводници използват комбинация от летливи прекурсорни газове, плазма и висока температура за наслояване на висококачествени тънки филми върху пластини. Камерите за отлагане и инструментите за обработка на вафли се нуждаят от издръжливи керамични компоненти, за да издържат на тези предизвикателни среди.
Semicorex Silicon Wafer Carrier е силициев карбид с висока чистота, който има висока устойчивост на корозия и топлина, както и отлична топлопроводимост.

Параметри на носителя на силиконова пластина

Технически свойства
Индекс	единица	Стойност
Име на материала		Реакционно синтерован силициев карбид	Спечен силициев карбид без налягане	Прекристализиран силициев карбид
Състав		RBSiC	SSiC	R-SiC
Обемна плътност	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Якост на огъване	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Якост на натиск	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Твърдост	Бутон	2700	2800	/
Прекъсваща упоритост	MPa m1/2	4.5	4	/
Топлопроводимост	Вт/м.к	95	120	23
Коефициент на топлинно разширение	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Специфична топлина	Джаул/g 0k	0.8	0.67	/
Максимална температура на въздуха	℃	1200	1500	1600
Модул на еластичност	Gpa	360	410	240

Разликата между SSiC и RBSiC:

1. Процесът на синтероване е различен. RBSiC е да инфилтрира свободен Si в силициев карбид при ниска температура, SSiC се образува чрез естествено свиване при 2100 градуса.

2. SSiC имат по-гладка повърхност, по-висока плътност и по-висока якост, за някои уплътнения с по-строги изисквания към повърхността, SSiC ще бъде по-добър.

3. Различно използвано време при различни PH и температура, SSiC е по-дълъг от RBSiC

Характеристики на носителя на силиконова пластина

Графит с високочисто SiC покритие
Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна еднородност
Фин SiC кристал с покритие за гладка повърхност
Висока издръжливост срещу химическо почистване
Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.

Налични форми на керамика от силициев карбид:

● Керамичен прът / керамичен щифт / керамично бутало

● Керамична тръба / керамична втулка / керамична втулка

● Керамичен пръстен / керамична шайба / керамичен дистанционер

● Керамичен диск

● Керамична чиния / керамичен блок

● Керамична топка

● Керамично бутало

● Керамична дюза

● Керамичен тигел

● Други керамични части по поръчка