Силициев карбид вакуум патронник

Semicorex силиконов карбид вакуум патрон е важна част от производството на полупроводници за процеси, нуждаещи се от висока точност и ниско замърсяване. Вакуумните патрони са изработени от керамика с пореста силициева карбид с висока чистота и осигуряват отлична механична якост, топлопроводимост и химическа инертност и разполагат с точно контролирана структура на порите за надеждно задържане на вакуум. Вакуумният патронник на силициев карбид е функционално адсорбционно устройство, направено от керамичен материал от силициев карбид (SIC), който разчита на вакуумно отрицателно налягане, електростатична адсорбция или механично затягане, за да се осигури стабилно разбиране на работното място. Вакуумните патрони се използват в полупроводници, фотоволтаици, прецизно производство и други приложения, които имат изключително високи изисквания за материал с висока температура, устойчивост на износване и чистота.

Основата наЧъке пореста SIC материал, който има предвидимо проникване на въздух по повърхността си. Това означава, че е възможно безопасно да се адсорбират вафла без механично затягане и следователно да се несъгласим на потенциала на физическо увреждане или замърсяване на пробата. Порьозността на материала е строго контролирана - обикновено има порьозност от 35-40% - за осигуряване на правилното разпределение на вакуума, но също така отговаря на структурните изисквания за трайно термично и механично колоездене.

Вафлета вакуумобикновено са направени от твърда повърхност с много малки дупки или канали на повърхността. Чрез тези малки дупки патронникът може да бъде свързан към вакуумна помпа, което създава вакуум ефект. Когато вафлата е поставена върху патронника, вакуумната помпа се включва и въздухът се изтегля през малките дупки, създавайки вакуум между вафлата и патронника. Този вакуум ефект създава достатъчно засмукване, за да се прикрепи здраво вафлата към повърхността на Чък.

Керамичните повърхности често се използват в приложения, които изискват висока чистота и химическа стабилност. Керамиката са материали, произведени чрез високотемпературно сливане на минерали. Най -общо казано, керамиката е електрически изолатори или полупроводници и имат висока устойчивост на термичен срив, ерозия и повреди.

Semicorex изгражда персонализиран вакуум на силициев карбид към спецификациите на клиента за неща като размери, порьозност, повърхностно покритие и модели за вакуумно канализиране. В резултат на нашите възможности за производство и чисти помещения, ние предлагаме най -доброто при нископроизводство и чистота с ниски частици, за да се съобразят с изискванията за чистота на всички полупроводникови фабрики и производители на оборудване.

Можем да направим патрон за всякаква вафла с размери, от 2-инчов до 12-инчов вафла и адаптиране за интегриране на патронника в множество оборудване за обработка на вафли. Може да се използва за процеси на предния край и/или процеси на задния край, което прави SIC вакуумният патрон за икономически, прецизен, стабилен и без замърсяване средства за поддръжка на вафли в работния процес на полупроводника FAB.

Вакуумният патрон на силициевия карбид е основен инструмент в днешното производство на полупроводници, съчетавайки най -добрите материали и инженерство. Устойчивата и прилепнала надеждност чрез термични и химични крайности го правят перфектната подкрепа в приложенията на процесите, които включват, кола маска, изтъняване, почистване и RTA. Като набавите вакуумния си вакуум от силициев карбид чрез Semicorex, вие гарантирате най -добрата чистота на материала, персонализирани решения и надеждни показатели за превъзходни резултати във всичките ви линии за обработка на вафли.