ICP ецваща плоча от силициев карбид

ICP ецваща плоча от силициев карбиде компетентен в осигуряването на стабилна опора и прецизно позициониране на пластини в операциите за ецване, като ефективно предотвратява намаляването на прецизността на ецване, предизвикано от вибрации или изместване.

ICP ецваща плоча от силициев карбид има възможности за термично управление. Превъзходна топлопроводимост наSIC керамикадава на плочата за ецване от силициев карбид ICP способността бързо да разсейва топлината, което помага да се предотврати локално прегряване на детайла и да се осигури еднаквост на температурата на ецване, като по този начин се подобрява качеството на ецване. SiC керамиката има нисък коефициент на термично разширение, което позволява на ICP ецващата плоча от силициев карбид да поддържа добра стабилност на размерите и да намалява изместването или деформацията на детайла, причинени от термично разширение.

Разчитайки на своите отлични свойства на твърдост и якост, ICP ецващата плоча от силициев карбид показва способността да понася механичния стрес и плазменото въздействие, възникнали по време на процеса на ецване, с минимална деформация или повреда. Тази способност ефективно подобрява добива и ефективността на производството на полупроводникови устройства.

Работната среда на ICP изисква чистота на ниво полупроводници. ICP ецващата плоча от силициев карбид на Semicorex може напълно да отговори на това изискване, осигурявайки изключителна устойчивост на химическите газове (като хлор и флуор) и плазмата на ICP среди за ецване. Тази важна характеристика поддържа околната среда на процеса чиста чрез намаляване на количеството замърсители, освободени по време на операциите по ецване.

Semicorex дава приоритет на удобството на потребителя, предлагайки персонализирани дизайни на ICP ецваща плоча от силициев карбид, които безпроблемно се интегрират със съществуващите ICP системи за ецване и са съвместими с различни конфигурации. Това позволява плавен преход, което го прави идеално решение за надграждане за производителите на оборудване.