Керамични вафлени лодки от силициев карбид

Премиум селекция от материали

Отличните свойства на керамиката от силициев карбид Semicorexвафлени лодкисе дължат на висококачествени суровини. Изработени от SiSiC материал от полупроводников клас и покрити с CVD SiC покритие, лодките от керамични вафли от силициев карбид показват следните отлични свойства.

1. Свръхвисока чистота, без отделяне на метални примеси

Примеси на субстрата: <100 ppm

Примеси на CVD SiC покритие: <1 ppm

2. Превъзходна термична стабилност

Лодките от керамични вафли от силициев карбид са в състояние да работят стабилно при високотемпературни условия от 1250 ℃, осигурявайки минимална деформация и устойчивост на пълзене.

3. Висока механична якост

Силициев карбидпритежава висока твърдост и устойчивост на износване, което позволява на керамичните пластини от силициев карбид Semicorex да издържат на драскотини, ожулвания и повреди, като по този начин се представят добре по време на продължителна работа и са устойчиви на повреди.

4. Изключителна устойчивост на корозия

Тъй като силициевият карбид е устойчив на корозия от силни киселини и алкали, керамичните вафлени лодки от силициев карбид Semicorex могат да запазят своята структурна цялост и функционални характеристики дори при силно корозивни работни условия.

Оптимизиран структурен дизайн

Лодките за керамични пластини от силициев карбид Semicorex са проектирани за обработка на партидни пластини, тяхната оптимизирана структурна рамка осигурява стабилна поддръжка на партидни пластини и постоянна стабилност на процеса за всяка пластина.

Вертикална опорна конструкция с 1,3 стълба

Вертикалната структура на керамичните вафлени лодки от силициев карбид Semicorex им позволява безпроблемно да се съчетават с вертикални приложения на пещ. С тази структура керамичните вафлени лодки от силициев карбид emicorex могат да улеснят хомогенната циркулация на процесните газове и равномерното разпределение на топлинната енергия във високотемпературната пещ.

2.Равномерно разпределени прищипвания на слота

Керамичните вафлени лодки от силициев карбид Semicorex са оборудвани с множество прецизно обработени щипки на слотовете на техните опорни стълбове. Техните равномерно разположени щипки на слотовете постигат подходящо разстояние между слотовете, което позволява на керамичните вафли от силициев карбид да закрепват здраво полупроводниковите пластини, като по този начин допринасят за подобряване на последователността на резултатите от термичната обработка на пластините.

С толкова много отлични характеристики и функции, лодките за пластини от силициев карбид Semicorex се използват широко в основните процеси на производството на полупроводникови пластини, като окисление, дифузия, йонна имплантация и високотемпературно отгряване.