Керамична вафлена лодка от силициев карбид

Semicorex осигурява лодки за вафли, пиедестали и персонализирани носители за вафли както за вертикални/колонни, така и за хоризонтални конфигурации. Ние сме производител и доставчик на покритие от силициев карбид от много години. Нашата керамична лодка от силициев карбид има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Керамична лодка за пластини от силициев карбид Semicorex, най-доброто решение за обработка и защита на пластини в производството на полупроводници.
Нашата керамична вафлена лодка от силициев карбид е изработена от висококачествен материал, покрит със слой от силициев карбид (SiC), използван CVD метод, който има добра устойчивост на корозия и отлична устойчивост на високи температури и термичен удар. Усъвършенстваната керамика осигурява отлична термична устойчивост и плазмена издръжливост, като същевременно смекчава частиците и замърсителите за носители за пластини с голям капацитет.

Параметри на лодка от керамични вафли от силициев карбид

Технически свойства
Индекс	Мерна единица	Стойност
Име на материала		Реакционно синтерован силициев карбид	Спечен силициев карбид без налягане	Прекристализиран силициев карбид
Състав		RBSiC	SSiC	R-SiC
Обемна плътност	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Якост на огъване	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Якост на натиск	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
твърдост	Кнуп	2700	2800	/
Прекъсваща упоритост	MPa m1/2	4.5	4	/
Топлопроводимост	Вт/м.к	95	120	23
Коефициент на термично разширение	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Специфична топлина	Джаул/g 0k	0.8	0.67	/
Максимална температура на въздуха	℃	1200	1500	1600
Модул на еластичност	Общ успех	360	410	240

Разликата между SSiC и RBSiC:

1. Процесът на синтероване е различен. RBSiC е да инфилтрира свободен Si в силициев карбид при ниска температура, SSiC се образува чрез естествено свиване при 2100 градуса.

2. SSiC има по-гладка повърхност, по-висока плътност и по-висока якост, за някои уплътнения с по-строги изисквания към повърхността, SSiC ще бъде по-добър.

3. Различно използвано време при различни PH и температура, SSiC е по-дълъг от RBSiC

Характеристики на керамичната вафлена лодка от силициев карбид

Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна еднородност
Фин SiC кристал с покритие за гладка повърхност
Висока издръжливост срещу химическо почистване
Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.

Горещи маркери: Керамична вафлена лодка от силициев карбид, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализирана, насипна, усъвършенствана, издръжлива