Конзолните лопатки от силициев карбид Semicorex са керамични компоненти с висока производителност, специално изработени от материали от силициев карбид. Като незаменими компоненти за системи за зареждане на пластини, конзолните лопатки от силициев карбид Semicorex изпълняват поддържащи и транспортни задачи при процеси на термична обработка на полупроводници при висока температура. Изборът на Semicorex означава, че ще получите оптималните керамични решения.
Конзолните лопатки от силициев карбид Semicorex обикновено се използват с хоризонтални вафлени лодки в пещите за високотемпературна обработка. Те могат да осигурят прецизно, плавно прехвърляне на вафлени лодки във и извън тръбите на пещта, осигурявайки силна подкрепа за стабилността и производителността на производството на полупроводници. Специално проектирани за високотемпературна обработка на вафли, конзолните лопатки от силициев карбид Semicorex работят стабилно при около 1250°C при сурова работна атмосфера, състояща се от кислород (реакционен газ), азот (защитен газ) и малко количество хлороводород.
Премиум продуктите разчитат на фини суровини. Semicorex използва суровина от силициев карбид с висока чистота, за да гарантира, че нашите конзолни лопатки от силициев карбид са с най-високо качество в индустрията. Техните основи са направени от висококачествен реакционно свързан силициев карбид със съдържание на примеси, контролирано под 100 ppm, а повърхностите им са покрити с CVD SiC покритие, където примесите се поддържат под 1 ppm. Този висококачествен материал, изработващ конзолните лопатки от силициев карбид Semicorex, осигурява отлични свойства, изброени по-долу.
1. Изключително висока чистота:Semicorexсилициев карбидконзолните лопатки се отличават с висока чистота и няма да отделят нежелани примеси по време на работа, като основно елиминират замърсяването на вафлите и пещите за обработка.
2. Стабилна термична стабилност:Конзолните лопатки от силициев карбид Semicorex работят надеждно при 1250°C и издържат на резки температурни промени при влизане и излизане от пещта, без никаква деформация или напукване.
3. Превъзходна механична якост:Конзолните лопатки от силициев карбид Semicorex се отличават с висока твърдост и здравина и могат да издържат на износване и надраскване по време на чести операции на бутане и дърпане.
4. Надеждна устойчивост на корозия:Semicorexконзолни гребла от силициев карбидмогат да издържат на тежка корозия от силни основи и киселини, благодарение на тяхната забележителна химическа стабилност.
Semicorexизползва интегралната технология за 3D печат, за да формира конзолни лопатки от силициев карбид, което им позволява да нямат слаби точки на напрежение в ставите, осигурявайки надеждна товароносимост по време на работа. Той също така поддържа пълноизмерно персонализиране на конзолни лопатки от силициев карбид. Конзолните лопатки могат да бъдат прецизно съобразени по дължина, структура и спецификация на интерфейса и са налични, за да съответстват перфектно на диаметрите на тръбата на пещта, размерите на вафлената лодка, автоматизираните системи за зареждане и специфичните изисквания на процеса.