Силиконови карбидни лодки

Semicorex силициев карбиден лодки проявяват изключителна термична стабилност, което им позволява да издържат на екстремните температури, необходими за процесите на окисляване и дифузия. Тяхната отлична устойчивост на термичен удар свежда до минимум риска от напукване или деформация, като гарантира продължително оперативно дълголетие. Съставът на SIC с висока плътност осигурява превъзходна механична якост, поддържайки структурната цялост дори при непрекъснато термично колоездене. Тази изключителна устойчивост на механично напрежение намалява вероятността от замърсяване и счупване на вафли, допринасяйки за по -високи добиви на процеси. Освен това, SIC лодките притежават изключителна химическа устойчивост, оставайки инертна на агресивни процесорни газове, използвани в етапите на окисляване и дифузия. Тази характеристика предотвратява нежеланите реакции, които биха могли да компрометират чистотата на вафли и ефективността на производството.

Силиконовите карбидни лодки се използват предимно в пещи за окисляване и дифузия, където прецизният контрол върху излагането на вафли на високи температури и реактивните газове е от съществено значение. Те поддържат вафли по време на термично окисляване, за да отглеждат висококачествени силициеви диоксидни слоеве и да улеснят равномерното допинг чрез контролирано излагане на допантни газове. Освен това те осигуряват стабилна платформа за отгряване и други лечения с висока температура, които изискват продължителна топлинна експозиция.

В сравнение с традиционните кварцови и графитни лодки, силициевите карбидни лодки предлагат несравнима издръжливост, дълголетие и производителност. Способността им да издържат на сурова топлинна и химическа среда, като в същото време свежда до минимум замърсяването ги прави предпочитаният избор за производство на полупроводници с висока точност. С акцент върху качеството и иновациите, нашите лодки от силициев карбид осигуряват превъзходни характеристики, осигурявайки високи добиви и ефективна обработка на вафли за производители на полупроводници по целия свят. Независимо дали за модерни технологии за усъвършенствани възли или наследени полупроводници, тези лодки осигуряват надеждно решение за изпълнение на строгите изисквания в индустрията.

(1) Носене и защита: Силиконовите карбидни лодки носят полупроводници като вафли през вътрешните си скоби или слотове и използват високата температура и корозионната устойчивост на силициевите карбидни материали, за да защитят вафлите от външната среда.

(2) Еднообразно отопление: Лодката на силициевия карбид позволява вафлите вътре да се нагряват равномерно по време на процеса на обработка на топлината. Това помага да се гарантира, че температурата и скоростта на реакция на всяка част на вафлата остават последователни по време на процеса на обработка на топлината, като по този начин подобряват добива и качеството на вафлата.

В момента има три основни типаСиликонов карбид керамикаМатериали: Реакционно синтероване, синтероване на натиск и прекристализация на синтероване. В повечето приложения реакцията Snerited Silicon Carbide е по-подходящ и рентабилен продукт. Прекристализираните SIC лодки обикновено си синтероват и преработват няколко части на единица първо, след това използвайте Si паста, за да комбинирате частите в лодка при висока температура и накрая прилагайте CVD-SIC покритие (около 100UM). Тъй като прекристализацията е пореста, ако няма SIC покритие, тя също ще въведе частици в полупроводниковия процес. Този тип прекристализирана SIC лодка с CVD-SIC покритие има най-дълъг производствен процес и е много скъп. В сравнение с графитни лодки с покритие от SIC, прекристализираните SIC лодки с CVD-SIC нямат проблем с несъответствието на CTE.