Усъвършенстваната пластина за шлифоване на пластини от SiC от Semicorex е прецизната машинна част за постигане на ултра-висока плоскост върху повърхностите на полупроводникови пластини. Изборът на пластина за смилане на пластини Semicorex SiC надхвърля избора на високопроизводителен инструмент, той осигурява оптималното, точно, стабилно и ефективно решение за приложения за смилане на пластини.
SiC пластина за смилане на вафлие решаваща част от повърхностната обработка на полупроводникови пластини. Възползвайки се от прецизната формула на микропрах от силициев карбид и авангарден процес на синтероване без налягане, пластината за смилане на пластини от SiC осигурява ефективно шлайфане и прецизно завършване на повърхностите на пластините, като фундаментално запазва стабилността и добива на последващи процедури за производство на полупроводници.
С прецизно и ефикасно довършване на повърхността на вафлите като основна функция, плочата за смилане на вафли от SiC постига стабилно и контролируемо триене с повърхността на вафлите. Когато се комбинира с флуиди за шлайфане или полиране в специфични пропорции, той работи синергично, за да елиминира различни повърхностни дефекти, причинени от предварителни процеси, като натрошаване, микропукнатини и ръбове. Той може също така да постигне прецизен контрол на микронно ниво върху дебелината на пластината и общата вариация на дебелината (TTV), като по този начин осигурява висококачествен субстрат за пластина с отлично качество на повърхността и стабилни параметри на размерите за последващи ключови процеси в производството на чипове, като фотолитография и йонна имплантация.
Основното изпълнение:
1. Изключителна твърдост.
2. Висока якост на огъване и модул на еластичност.
3. Превъзходен коефициент на топлинно разширение.
4. Изключителна топлопроводимост.
5. Превъзходна устойчивост на химическа корозия.
Semicorex предоставя персонализирани услуги от висок клас на нашите уважаеми клиенти. Използвайки усъвършенствани обработващи центри с ЦПУ, Semicorex щателно и прецизно обработва материалите от силициев карбид, за да създаде пластина за смилане на пластини SiC със специфични размери, съобразени със спецификациите на клиента. За да обслужва клиентите с висококачествени продукти, плочата за смилане на вафли Semicorex SiC трябва да бъде подложена на стриктни проверки на качеството, като точност на размерите, здравина, твърдост и други тестове за ефективност, преди да напусне фабриката.