SiC вафлен патронник

В основата на SiC Wafer Chuck се крие сложна комбинация от материали, чиято основа е изработена от графит и щателно покрита с химическо отлагане на пари (CVD) SiC. Тази комбинация от графит и SiC покритие не само осигурява изключителна издръжливост и термична стабилност, но също така предлага несравнима устойчивост на сурови химически среди, запазвайки целостта на деликатните полупроводникови пластини по време на производствения процес.

Патронникът за пластини SiC може да се похвали с изключителна топлопроводимост, улеснявайки ефективното разсейване на топлината по време на процеса на производство на полупроводници. Тази възможност минимизира топлинните градиенти по повърхността на пластината, осигурявайки равномерно разпределение на температурата, което е критично за постигане на прецизни свойства на полупроводника. Чрез интегрирането на CVD SiC покритие, SiC Wafer Chuck показва забележителна механична якост и твърдост, способни да издържат на взискателните условия, срещани по време на обработката на пластини. Тази здравина минимизира риска от деформация или повреда, запазвайки целостта на полупроводниковите пластини и максимизирайки производствените добиви.

Всеки патронник за пластини от SiC се подлага на щателна прецизна обработка, гарантираща тесни допуски и оптимална плоскост по повърхността му. Тази прецизност е от решаващо значение за постигане на равномерен контакт между патронника и полупроводниковата пластина, улеснявайки надеждното затягане на пластината и осигурявайки постоянни резултати от обработката.

Патронникът за пластини от SiC намира широко приложение в различни процеси на производство на полупроводници, включително епитаксиален растеж, химическо отлагане на пари (CVD) и термична обработка. Неговата гъвкавост и надеждност го правят незаменим за поддръжка на SiC пластини по време на критични етапи на производство, като в крайна сметка допринася за производството на усъвършенствани полупроводникови устройства с несравнима производителност и надеждност.