SiC вафлени лодки

Semicorex SiC Wafer Boat, изработена от силициев карбид (SiC) керамика, е водеща в посрещането на изискванията на полупроводниковата индустрия, като предоставя несравнима производителност в среда с висока температура. Тъй като полупроводниковата индустрия безмилостно разширява границите на микропроизводството, търсенето на еластични и здрави материали става първостепенно.

SiC Wafer Boat играе решаваща роля в задържането и поддържането на множество вафли по време на топлинни процеси като дифузия, окисление и химическо отлагане на пари (CVD). Тези процеси включват подлагане на пластините на изключително високи температури, често надвишаващи 1000°C, в контролирана атмосфера. Еднаквостта и последователността на тези термични обработки са критични за осигуряване на качеството и производителността на произвежданите полупроводникови устройства. Способността на SiC Wafer Boat да издържа на такива високи температури без деформация или разграждане гарантира, че пластините са равномерно обработени, което води до превъзходен добив и производителност на устройството.

Изключителната топлопроводимост на пластините от SiC гарантира равномерно разпределение на топлината във всички пластини, минимизирайки риска от температурни градиенти, които биха могли да доведат до дефекти в полупроводниковите устройства. Освен това, ниският коефициент на топлинно разширение (CTE) на SiC води до минимално топлинно разширение и свиване по време на цикли на нагряване и охлаждане. Тази стабилност е от решаващо значение за предотвратяване на механично напрежение и потенциално увреждане на пластините, особено при свиващи се геометрии на устройството.

По време на термични процеси, вафлите са изложени на различни реактивни газове, които могат да взаимодействат с материалите на SiC вафлената лодка. Отличната химическа устойчивост на SiC гарантира, че той не реагира с тези газове, предотвратявайки замърсяване и гарантирайки чистотата на пластините. Това е особено важно при производството на усъвършенствани полупроводникови устройства, където дори следи от замърсяване могат да доведат до дефекти и да намалят надеждността на устройството.