SiC Wafer Boat Carrier

В бързо развиващия се пейзаж на производството на полупроводници – по-специално производството на SiC и GaN захранващи устройства за електромобили, 5G инфраструктура и възобновяема енергия – надеждността на вашия хардуер за обработка на пластини не подлежи на обсъждане. Semicorex SiC Wafer Boat Carrier представлява върхът на материалното инженерство, проектиран да замени традиционните кварцови и графитни компоненти в среда с висока температура и висока чистота.

Защо силициевият карбид е изборът на индустрията

Тъй като полупроводниковите възли се свиват и размерите на пластините преминават към 200 mm (8 инча), топлинните и химически ограничения на кварца се превръщат в пречка. Нашият носач за лодки от SiC Wafer е проектиран с помощта наСпечен силициев карбидили SiC с CVD покритие, предлагащ уникална комбинация от топлопроводимост, механична якост и химическа инертност.

1. Изключителна термична стабилност

Традиционните материали често страдат от "спускане" или деформация, когато са изложени на екстремни температури, необходими за дифузия и отгряване. Нашият SiC Wafer Boat Carrier поддържа структурна цялост при температури над 1600°C. Тази висока термична стабилност гарантира, че слотовете за пластини остават идеално подравнени, предотвратявайки "тракането" или засядането на пластините по време на автоматизирани роботизирани трансфери.

2. Висока чистота и ниско замърсяване

В среда на чисти помещения частиците са враг на добива. Нашите носачи за лодки се подлагат на патентован процес на нанасяне на покритие CVD (Chemical Vapor Deposition). Това създава плътна, непореста повърхност, която действа като бариера срещу отделяне на примеси. С изключително ниски нива на метални примеси, нашите носители гарантират, че вашите пластини - независимо дали са силикон или силициев карбид - остават свободни от кръстосано замърсяване по време на критични цикли на висока температура.

3. Съответстващ CTE (коефициент на термично разширение)

Една от основните причини за напрежението на пластината и линиите на приплъзване е несъответствието в топлинното разширение между носителя и пластината. Нашите SiC лодки са проектирани с CTE, който много съответства на SiC пластините. Тази синхронизация минимизира механичното напрежение по време на фазите на бързо нагряване и охлаждане (RTP), като значително подобрява общия добив на матрицата.

Основни технически спецификации

Приложения в усъвършенстваното производство

Нашият SiC Wafer Boat Carrier е оптимизиран за най-взискателните процеси в "гореща зона" във фабриката:

• LPCVD & PECVD: Високата устойчивост на химически прекурсори предотвратява разграждането на лодката, осигурявайки постоянен живот на комплекта за обработка.
• Високотемпературно окисляване: За разлика от кварца, SiC не се дестъклува, запазвайки силата си в продължение на хиляди цикли.
• Дифузия и отгряване: Превъзходната термична еднородност в цялата лодка гарантира, че всяка пластина в партидата изпитва точно същия термичен профил.
• SiC епитаксия: Специално проектиран да издържа на суровите среди, необходими за отглеждане на епитаксиални слоеве върху SiC субстрати.

Издръжливостта отговаря на ефективността на разходите

Докато първоначалната инвестиция в SiC хардуер е по-висока от тази в кварц, общата цена на притежание (TCO) е значително по-ниска. Нашите носачи са създадени за дълъг живот, често издържат 5 до 10 пъти по-дълго от традиционните материали. Това намалява честотата на прекъсване на инструмента за подмяна на части и минимизира риска от катастрофална повреда на лодка, която може да съсипе цяла партида скъпи вафли.

Доверете своя процес на доказано инженерство

Разбираме, че в полупроводниковата индустрия „достатъчно добро“ никога не е достатъчно. Нашият производствен процес включва 100% проверка на размерите на CMM и ултразвуково почистване с висока чистота преди вакуумно опаковане.

Независимо дали увеличавате мащаба на 200-милиметрова линия захранващи устройства от SiC или оптимизирате наследен 150-милиметров процес, нашият инженерен екип е на разположение, за да персонализира стъпката на слота, дължината на лодката и конфигурациите на дръжката, за да отговарят на вашите специфични изисквания за пещ.