Semicorex SIC тръбите са тръби от силициев карбид, проектирани за полупроводникови процеси с висока температура, с отлична термична стабилност и химическа устойчивост на корозия. Избор на суровини с висока чистота Semicorex, прецизни процеси на производство и дългосрочни гаранции за надеждност, за да осигурите солидна подкрепа за вашия процес на производство на полупроводникови производствени.*
Semicorex SIC тръбите (тръбите на пещта SIC) са първокласни компоненти, силно използвани в полупроводниковата индустрия поради идеалната им термична стабилност, механична якост и изключителна устойчивост на агресивни химикали в редица приложения. Semicorex SIC тръбите са проектирани да оцелеят при най-тежките условия, свързани с обработката с висока температура. SIC тръбите очевидно са предпочитан и превъзходен материал за дифузионни пещи, LPCVD/PECVD системи и в среди, използвани за епитаксиален растеж, при които замърсяването на материала и термичната диференциал са ключови съображения.
Semicorex sic тръбите са произведени от ултрависока чистота SIC прахове, използващи усъвършенствани методологии за синтероване и техники за контрол на процесите, които запазват чистотата на SIC. Резултатът е, че SIC тръбите имат оптимална топлинна проводимост, ниски характеристики на термично разширяване и тегло, разпределено по дължината на тръбата, ефективно минимизирайки топлинното напрежение, дори когато е изложено на бързо термично колоездене. По този начин, използването на SIC тръби осигурява високо спазване по време на непрекъснати високотемпературни процеси (до 1600 ° C)-като по този начин се гарантира равномерност в процесите на производство на полупроводници, повишавайки общата ефективност на последователните мащаби.
Основното предимство на SIC е, че той е химически инертен. SIC е практически непорьозен (спазващ се с степенуване на ASTM-G654 GP-4) и ненадминат, когато става въпрос за резистентни разстояния и реактивни химикали, използвани в разработването на полупроводници, включително HCL, NH₃, SIH₄ и др Стабилност и увеличаване на времето за обслужване, като в същото време минимизиране на забавянето на пропускателната способност, свързани с промените и заместванията на тръбата. Основните предимства за производството на полупроводници са ясни; Използването на SIC тръби може да намали общата цена на собствеността надолу с диапазона на седмици или дори месеци, като същевременно поддържа надеждността, тъй като се отнася до индустриалните процеси.
Semicorex SIC тръбите се предлагат в много диаметри, дължини и персонализирани спецификации, за да се съобразят с различни дизайни на пещта и изисквания за обработка. Вътрешните повърхности могат да бъдат излъскани, което подобрява чистотата, намалява генерирането на частици и е важен детайл в ултра-чистите полупроводникови пространства. Използването на Semicorex SIC тръби може да помогне за намаляване на риска от замърсяване и допринася за повишени добиви на вафли с тесни допустими отклонения и подобрено качество на повърхността.
Експертизата на Semicorex SIC включва години на обработка на силициев карбид с акцент върху прецизния инженеринг и контрол на качеството, за да се отговори на строгите и взискателни стандарти за качество на полупроводниковата индустрия. Нашите тръби са тествани и валидирани с проверки, които са от решаващо значение за осигуряване на чистота, плътност и изпълнение в най -екстремните топлинни среди. Semicorex също така предоставя техническа поддръжка и персонализирани опции за проектиране, за да подпомогне оптимизирането на системата на пещта за конкретни приложения.
Независимо дали производството на логически чипове, захранващи устройства или оптоелектроника, Semicorex SIC тръбите представляват надеждна, трайна опция за обработка на висока температура. Избирайки Semicorex, вие не само осигурявате ефективност, но и по -дългосрочен стабилен, ефективен процес за производство на полупроводници.