SiC технологична тръба

Semicorex SiC (силициев карбид) технологична тръба е специализиран компонент, използван в процесите на топлинна обработка на пластини, особено в приложения, които изискват високи температури, корозивна атмосфера или и двете. Той е проектиран да осигури защитна и контролирана среда за полупроводникови пластини по време на термична обработка или термична обработка.

Процесната тръба е внимателно проектирана, за да създаде запечатана камера, където се поставят пластини за термична обработка. Той действа като бариера, предотвратяваща директния контакт на вафлите със заобикалящата среда. Тази изолация е от решаващо значение за поддържане на чистотата на обработващата атмосфера и за защита на вафлите от замърсяване.

Вътре в технологичната тръба на SiC се извършва термичната обработка на пластините. Това може да включва различни процеси като отгряване, окисление, дифузия и други термични обработки, необходими за модифициране на свойствата на материала на вафлата. Свойствата на тръбата, като нейната висока топлопроводимост и устойчивост на химическа атака, помагат да се осигури равномерно разпределение на температурата и защита на пластините.

Процесните тръби от SiC са критични компоненти в процесите на топлинна обработка на пластини. Тяхната устойчивост на висока температура, химическа инертност и способност за създаване на контролирана среда гарантират успешното изпълнение на стъпките на термична обработка, което води до производството на висококачествени полупроводникови пластини.