SIC порести керамични разлепващи патронници

С напредването на обработката на полупроводници и нарастващото търсене на електронни компоненти, приложението на ултратънки пластини става все по-критично. Обикновено вафлите с дебелина под 100 μm се наричат ​​ултратънки вафли. Въпреки това, когато пластините са изтънени до под 100 μm, те показват значителна крехкост и тяхната механична якост впоследствие намалява, което води до високи рискове от изкривяване, огъване или дори счупване на пластини. Поради тази причина изборът да се използват порести керамични разлепващи патронници Semicorex SiC е мъдрото решение, което може да осигури надеждна опора и защита на ултратънки пластини за постигане на безопасно разделяне в процеса на разлепване.

Предимствата на разлепващите патронници от пореста керамика Semicorex SiC

1. Изключителни свойства на материала

С твърдост по Моос от приблизително 9,5, SemicorexSiC порести керамични разлепващи патроннициотличават се с изключителна устойчивост на износване и могат дългосрочно да издържат на многократна вакуумна адсорбция и освобождаващи операции с надеждна издръжливост по време на процеса на разлепване.

В допълнение, с превъзходна топлопроводимост, порестите керамични патронници Semicorex SiC за разглобяване са слаби за бързо провеждане на топлина, което може ефективно да предотврати локално прегряване, което може да влоши или повреди пластините, особено подходящи за процес на разлепване при висока температура.

2.Високопроизводителна пореста керамична структура

Произведени от висококачественисилициев карбидпрах чрез високотемпературно синтероване, порестите керамични разлепващи патронници Semicorex SiC имат многобройни взаимосвързани микропори, равномерно разпределени вътре. С порьозност от 30 (±5)% и прецизно контролиран размер на порите между 2-25 μm, порестите керамични патронници Semicorex SiC за разлепване могат да гарантират, че ултратънките пластини са равномерно натоварени по време на процеса на разлепване, като по този начин значително намаляват рисковете от изкривяване и счупване на пластини.

3. Прецизен контрол на плоскостта

Възползвайки се от зрелите технологии за машинна обработка и обработка на повърхността, порестите керамични разлепващи патронници Semicorex SiC постигат успоредност, контролирана под 0,02 mm, и двустранна плоскост под 0,02 mm. Тази отлична плоскост и успоредност осигуряват стабилна и плоска поддържаща платформа за процеса на разлепване на ултратънки вафли, като ефективно гарантират точността и надеждността на процеса на разлепване.

4. Гъвкави опции за размери

Порестите керамични разлепващи патронници Semicorex SiC са много подходящи за обработка на пластини от 6 инча и 8 инча и се предлагат в различни стандартни размери, включително 159 mm диаметър × 0,75 mm дебелина, 200 mm диаметър × 1 mm дебелина, 204 mm диаметър × 1,5 mm дебелина.