SIC Окислителна тръба

Окислителната тръба Semicorex sic е конструирана от керамика на силициев карбид с висока чистота, предназначена за процеси на окисляване, дифузия или отгряване, обикновено извършвани при 1600 ° С. Като част от SIC пещ, хоризонтална или вертикална, това е контролираната среда, в която вафлите се нагряват, докато се окисляват. Функцията на окислителната тръба е да осигури чиста, еднаква и стабилна среда за термична обработка на силициев карбид (SIC) вафли в производството на мощностни устройства и широки полупроводници на лентата, като бленда на постоянния потенциален процес на окисляване, окислителната тръба действа като консумативна целесъобразна за първо използване. Докато кварцовите и алуминиевите тръби често се разпадат с течение на времето чрез девитрификация, изкривяване или химическо разбиване, силициевият карбид има изключителна издръжливост срещу предизвикателствата на термичния шок, подобряването на механичното свойство и химическата инертност. Тези фактори дават силициев карбид като чудесен вариант за окислителни тръби във висока надеждност и висока пропускателна среда.

Използвайки усъвършенствани форми на формиране, като студено изостатично належащо и безразсъдно синтероване (или прекристализация), полукорекс произвежда окислителни тръби SIC, които имат гъста, газова и хомогенна микроструктура. Това осигурява сила без риск от порьозност, което позволява процесът на окисляване да продължи без замърсяване. SIC има много висока топлопроводимост, което позволява равномерно термично разпределение в зоната на натоварване на вафли и по този начин намалява термичните градиенти, които могат да причинят изкривени вафли или дефекти. Устойчивостта на тръбата към киселини, основи и реактивни газове предотвратяват нежеланите химични взаимодействия с повърхността на вафли и през пещната среда.

Не пълзи, не се деформира. Епруветката не трябва да се заменя след няколко цикъла на производство-това е дългосрочна топлинна колоездачна среда, която иначе би унищожила по-малки материали. Следователно, никакви прекъсвания с висока честота не означават ниски експлоатационни разходи и това поддържа потока на процеса без никакви прекъсвания. Това също намалява рисковете за замърсяване, които лесно могат да намалят производителността на добива в полупроводниковите устройства от следващото поколение, където примесите на следите играят критична роля. Semicorex произвежда както стандартни, така и напълно персонализирани размери на тръбата за всяка използвана платформа и рецепта за пещ. Вътрешен и външен диаметър, дължина, дебелина на стената и повърхностно покритие са всички параметри, които могат да изискват регулиране за справяне с различни специфични топлинни и механични нужди; От лабораторни пещи за научноизследователска и развойна дейност до големи производствени линии-във всеки случай, когато тръбата се нуждае от обработка, почистване и проверка, за да гарантира производителността.

Контролът на качеството започва с размерени проверки, тестове за плътност на материала и валидиране на надеждността на топлинния цикъл за всяка една епруветка за окисляване на SIC. Силната система за проследяване на материала регистрира продукта от своята сурова прахова сцена до окончателна проверка. Този вид качество дава на клиентите стабилна ръка в дългосрочната стабилност и възпроизводимостта на нашите SIC окислителни епруветки.

Изберете Semicorex и вземете партньор в доставчик, който комбинира усъвършенствано керамично инженерство с широк контрол на процесите и отзивчива техническа поддръжка, като работите заедно от самото начало. Научаваме за вашата специфична среда за пещ, изисквания за процеса и предизвикателства за интеграция, за да можем да ви предложим персонализирани решения, подобряващи резултатите от процеса ви, както и времето на инструмента.

Окислителната тръба Semicorex sic осигурява най -добрите възможни топлинни характеристики с химическа стабилност и механична якост. Тя се превръща в сърцето на всяка високотемпературна система за обработка на SIC, като осигурява еднаква топлинна среда по време на окисляване и отгряване на усъвършенствани полупроводникови материали. За производителите, които изискват компонентите на пещта да бъдат надеждни, чисти и дълготрайни, Semicorex ще бъде избор на продукт, поддържан от знания и опит, както и стандарт за предоставяне на нищо друго освен най-доброто.