SIC хоризонтални пещни тръби

SIC хоризонтални пещни тръбиса незаменимите носители на пещната система, обикновено разположени в зоната за нагряване на ядрото на оборудването за производство на полупроводници или фотоволтаици. Те работят заедно с нагревателните елементи, системите за контрол на температурата, системите за контрол на газа и лодките за вафли, за да образуват цялостната система на пещта.

При действителната работа SIC хоризонталните тръби на пещта се нагряват от нагревателните елементи, които равномерно пренасят топлината в тръбите на пещта с помощта на отличната топлопроводимост на материалите от силициев карбид. Междувременно специфични технологични газове (като кислород, азот, допинг газове и др.) се въвеждат в тръбата на пещта. Под въздействието на тази високотемпературна газова атмосфера, полупроводниковите материали вътре в пещта ще претърпят химични реакции или физически промени, като в крайна сметка ще се постигне модификация на материала, допинг или структурна оптимизация.

Хоризонталните пещни тръби SIC на Semicorex осигуряват забележителна механична якост и твърдост, което играе важна роля в приложения, включващи работа и обработка на вафли с голям обем. Хоризонталните тръби на пещта SIC са в състояние да осигурят стабилна опора за пластини в процеси на термична обработка като окисление, дифузия и отгряване, като гарантират, че пластините са в правилната позиция по време на високотемпературна обработка и избягват изместване или деформация, причинени от топлинен стрес.

Тръбите за хоризонтална пещ SIC на Semicorex са произведени от високочистосилициево-карбидна керамикас изключително ниско съдържание на примеси, последвано от отлагане на CVDпокритие от силициев карбидна тяхната повърхност. Този метод на производство добавя защитен слой към SIC хоризонталните тръби на пещта, което им позволява да работят стабилно във взискателните високотемпературни и корозивни среди с течение на времето. Тази устойчивост на корозия на тръбите за хоризонтална пещ SIC подобрява ефективността на производството на полупроводникови пластини чрез ефективно намаляване на риска от повреда на свързаните с корозия компоненти и намаляване на необходимостта от чести смени и поддръжка.

С толкова много превъзходни свойства, тръбите за хоризонтална пещ SIC на Semicorex се използват широко в много процеси на високотемпературна обработка във фотоволтаичната и полупроводниковата промишленост, като процес на окисление, процес на дифузия, процес на отгряване и химическо отлагане на пари при ниско налягане.