Усъвършенстваните SiC фокусни пръстени с висока чистота на Semicorex са създадени да издържат на екстремни среди в камери за плазмено ецване (или сухо ецване). Ние се фокусираме върху полупроводниковите индустрии като слоеве от силициев карбид и епитаксиален полупроводник. Нашите продукти имат добро ценово предимство и покриват много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Semicorex доставя SiC Focus Rings е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване. Пръстените за фокусиране от SiC или ръбовите пръстени са предназначени да подобрят равномерността на ецване около ръба или периметъра на пластината. Минимизирайте замърсяването и непланираната поддръжка с компоненти с висока чистота, проектирани за суровата обработка с плазмено ецване. Нашите пръстени за фокусиране от SiC със SiC покритие са плътно, устойчиво на износване покритие от силициев карбид (SiC). Има висока устойчивост на корозия и топлина, както и отлична топлопроводимост. Ние нанасяме SiC на тънки слоеве върху графита, като използваме процеса на химическо отлагане на пари (CVD).
Параметри на SiC пръстени за фокусиране
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt завой, 1300 ℃) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на пръстените за фокусиране от SiC
- CVD покрития от силициев карбид за подобряване на експлоатационния живот.
- Топлоизолация от високоефективен пречистен твърд карбон.
- Карбон/Карбон композитен нагревател и плоча. - Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
- Графит с висока чистота и SiC покритие за устойчивост на дупки и по-дълъг живот