SiC фокусни пръстени

Усъвършенстваните SiC фокусни пръстени с висока чистота на Semicorex са създадени да издържат на екстремни среди в камери за плазмено ецване (или сухо ецване). Ние се фокусираме върху полупроводниковите индустрии като слоеве от силициев карбид и епитаксиален полупроводник. Нашите продукти имат добро ценово предимство и покриват много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex доставя SiC Focus Rings е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване. SiC фокусиращите пръстени или ръбовите пръстени са предназначени да подобрят равномерността на ецване около ръба или периметъра на пластината. Минимизирайте замърсяването и непланираната поддръжка с компоненти с висока чистота, проектирани за суровата обработка с плазмено ецване. Нашите пръстени за фокусиране от SiC със SiC покритие са плътно, устойчиво на износване покритие от силициев карбид (SiC). Има висока устойчивост на корозия и топлина, както и отлична топлопроводимост. Ние нанасяме SiC на тънки слоеве върху графита, използвайки процеса на химическо отлагане на пари (CVD).

Параметри на SiC пръстени за фокусиране

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC Î² фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	Î¼m	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J·kg-1 ·K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt огъване, 1300 â)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на пръстените за фокусиране от SiC

- CVD покрития от силициев карбид за подобряване на експлоатационния живот.

- Топлоизолация от високоефективен пречистен твърд карбон.

- Въглероден/въглероден композитен нагревател и плоча. - Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.

- Покритие от графит с висока чистота и SiC за устойчивост на дупки и по-дълъг живот