Продукти
SiC фокусни пръстени

SiC фокусни пръстени

Усъвършенстваните SiC фокусни пръстени с висока чистота на Semicorex са създадени да издържат на екстремни среди в камери за плазмено ецване (или сухо ецване). Ние се фокусираме върху полупроводниковите индустрии като слоеве от силициев карбид и епитаксиален полупроводник. Нашите продукти имат добро ценово предимство и покриват много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex доставя SiC Focus Rings е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване. Пръстените за фокусиране от SiC или ръбовите пръстени са предназначени да подобрят равномерността на ецване около ръба или периметъра на пластината. Минимизирайте замърсяването и непланираната поддръжка с компоненти с висока чистота, проектирани за суровата обработка с плазмено ецване. Нашите пръстени за фокусиране от SiC със SiC покритие са плътно, устойчиво на износване покритие от силициев карбид (SiC). Има висока устойчивост на корозия и топлина, както и отлична топлопроводимост. Ние нанасяме SiC на тънки слоеве върху графита, като използваме процеса на химическо отлагане на пари (CVD).


Параметри на SiC пръстени за фокусиране

Основни спецификации на CVD-SIC покритие

SiC-CVD свойства

Кристална структура

FCC β фаза

Плътност

g/cm³

3.21

твърдост

Твърдост по Викерс

2500

Размер на зърното

μm

2~10

Химическа чистота

%

99.99995

Топлинен капацитет

J kg-1 K-1

640

Температура на сублимация

2700

Felexural Сила

MPa (RT 4 точки)

415

Модулът на Йънг

Gpa (4pt завой, 1300 ℃)

430

Термично разширение (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Топлопроводимост

(W/mK)

300


Характеристики на пръстените за фокусиране от SiC

- CVD покрития от силициев карбид за подобряване на експлоатационния живот.

- Топлоизолация от високоефективен пречистен твърд карбон.

- Карбон/Карбон композитен нагревател и плоча. - Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.

- Графит с висока чистота и SiC покритие за устойчивост на дупки и по-дълъг живот




Горещи маркери: SiC фокусни пръстени, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализирани, насипни, разширени, издръжливи
Свързана категория
Изпратете запитване
Моля, не се колебайте да изпратите вашето запитване във формата по-долу. Ще ви отговорим до 24 часа.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept