SiC фокусни пръстени

Усъвършенстваните SiC фокусни пръстени с висока чистота на Semicorex са създадени да издържат на екстремни среди в камери за плазмено ецване (или сухо ецване). Ние се фокусираме върху полупроводниковите индустрии като слоеве от силициев карбид и епитаксиален полупроводник. Нашите продукти имат добро ценово предимство и покриват много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex доставя SiC Focus Rings е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване. Пръстените за фокусиране от SiC или ръбовите пръстени са предназначени да подобрят равномерността на ецване около ръба или периметъра на пластината. Минимизирайте замърсяването и непланираната поддръжка с компоненти с висока чистота, проектирани за суровата обработка с плазмено ецване. Нашите пръстени за фокусиране от SiC със SiC покритие са плътно, устойчиво на износване покритие от силициев карбид (SiC). Има висока устойчивост на корозия и топлина, както и отлична топлопроводимост. Ние нанасяме SiC на тънки слоеве върху графита, като използваме процеса на химическо отлагане на пари (CVD).

Параметри на SiC пръстени за фокусиране

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt завой, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на пръстените за фокусиране от SiC

- CVD покрития от силициев карбид за подобряване на експлоатационния живот.

- Топлоизолация от високоефективен пречистен твърд карбон.

- Карбон/Карбон композитен нагревател и плоча. - Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.

- Графит с висока чистота и SiC покритие за устойчивост на дупки и по-дълъг живот